多功能敏感陶瓷.pptVIP

各种陶瓷传感器，其功能都是单一的，显然，这种单功能传感器与当前科学技术的迅速进展和社会发展的安际需要是不相适应的。有必要研究把不同功能的传感一器集中在一个元件上的多功能传感器。于是，在这样的背景下 国内外从80年代初期起，便着手研制新型的多功能敏感陶瓷，迄今已有多种敏感陶瓷陆续问世，并已制成了各种类犁的多功能陶瓷传感器。;一、MgCr204-TiO2系敏感陶瓷;这些 敏感元件的研制成功，表明这种系统的陶瓷原来就是一种具有双重功能的敏感陶瓷。当进一步研究这种陶瓷固有???多功能特性后发现， MgCr204-Ti02系多孔性陶瓷，当环境温 度在150 ℃以下时，仅对水蒸气敏感，而在300 ℃ --550℃时的高温下，陶瓷呈现出P型半导体特性，对水蒸气的敏感性消失，而显示出对各种占毛体的敏感性。利用℃系多孔特性陶瓷的这些特性，并借助于掩蔽技术和引入在电气上无串扰的分离技术 便在单个元件上试制成湿度一气体双重功能的传感器;这种多功能敏感陶瓷元件的制备是：原材料采用高纯度的MgO、Cr2O3和Ti02。根据MgCr204-Ti02系化学式配料，把粉料同玛瑙球和纯水放入有橡皮衬垫的球磨机肉湿磨24小时 烘干，添加胶合剂并压成40×36×8 mm的长条，在1300 ℃的空气中烧结2小时，把烧结体切成4X5×0．25mm的试片。在试片的两个主表面上用丝网印刷法涂复RuO2浆料，并在800℃烧结 加成电极，其中电极的一个面兼作加热器使用。Pt—Ir引线用烧结的RuO2焊料焊接制成 引出端。图1表示用MgCr204-Ti02系陶瓷制作的湿度一气体双重功能传感器的结构。;;用该传感器检测湿度时，由于器件曝露在含有水蒸气和各种成分的气氛中，这些成分的吸附或粘附有油污和尘埃时，都会降低传感器，的湿敏特性。为此，在检测湿度以前必须把器件加到500℃的高温下进行热清洗，以便清除掉油污等附着物。不仅如此，在每次检测湿度和气体以前，特别是在检测高浓度还原性气体后，容易产生不可逆的复原，有时会使电阻值产生明显的滞后现象，故必须进行热清洗使器件复原。器件用于检测气体时，由于气体的化学吸附，必须使传感器的工作温度高于水蒸汽的物理吸附温度，一般把传感器加热到400℃左右的工作温度。这种加热温度的控制是利用传感器陶瓷的高温热敏电阻特性进行自控的。;图2表示湿度一气体传感器的湿敏特性。出相对湿度从0变化到l00％时，交流电阻以对数形式急剧地变化，滞后在±5 RH范围内，交流电压在5 V以内时，其特性几乎与电压无关，但当电压提高到5 V以上时，在高湿度区将会受到焦耳热的影响。在1-80℃温度范围内相对湿度和温度的关系，例如在60%的相对湿度下约为3．8％RH／ ℃ 。该器件若除去给定相对湿度所需的时间，响应时间在几秒钟之内，有良好的响应性。;;图8表示在空气中各种不同浓度的气体检测灵敏度与温度的关系。气体检测灵敏度通常是被定义为气体中的电阻值Rgas和大气中的电阻值Rair的比值。由图可见，在含有还原性气体的气氛中，其电阻值比在大气中的为高，在300 ℃ -500 ℃范围内对气体敏感。这种P型半导体气体传感器对于含有H2S、乙醇等有机气体有较高的灵敏度，而对CO、H 2和C 3H4等气体的灵敏度低。故这种传感器特别适合于检测H2S、乙醇、和烟等气体之用。;;二、BaTiO3-SrTiO3系敏感陶瓷;敏感元件的制备是首先根据B a1-XS r xTi03(X=0～ 1)的化学式配料’、球磨、烘干、压片、烧成和切片。在试片的两个主表面上涂敷RuO2电极和焊接Pf—Ir引线。图4表示用B aTi03-SrTiO3系敏感陶瓷制成的温度-湿度传感器的结构。加热清洗用的加热器采用傍热式而成辐射式结构。;;;图5 (a)表示温度-湿度传感器的温度特性，在-40 至+150 ℃宽广温度范围内具有较高的灵敏度，特别是在-20 ℃—+20 ℃范围内，电容量几乎呈线性变化而无滞后现象。在高湿度区(90%RH以上)，因湿度关系对灵敏度有一 定影响， 但仍不影响它的实际应用。器件在150 ℃以上显示图5 (b)所示的通用电导式热敏电阻特性。;(Ba·SrTiO3)系温度-湿度传感器的湿敏特性如图6所示。这种器件几乎可用于检测从1％到100%RH的全湿度范围。由图可见，湿敏特性与温度和湿度有关，电阻值随温度和湿度增高而下降。但是，当需要检测更精确的湿度时，可以根据图5(a)所示的电容一温度特性，安装温度补偿电路便可自行校正，这是这种温度一湿度传感器的最大特点。此外，该传感器通过清洗可克服因表面污染而弓l起的性能恶化，故它是一种耐久性良好的器件。;;三、SrTiO3系敏感陶瓷;过最近几年来的不断改进，现已制成了SrTiO3系高电容量的压敏电阻器，其电容量为ZnO-Bi2O3系压敏电阻器的10倍以上，称为