椭圆偏振侧厚仪实验原理.docxVIP

实验原理 使一束自然光经起偏器变成线偏振光。再经 1/4波片，使它变成 椭圆偏振光入射在待测的膜面上。 反射时，光的偏振状态将发生变化。 通过检测这种变化，便可以推算出待测膜面的某些光学参数。 1、 椭偏方程与薄膜折射率和厚度的测量 如右图所示为一光学均匀和 各向同性的单层介质膜。它有两 个平行的界面。通常，上部是折 -T 1 界面1 射率为ni的空气(或真空)。中间 丿 ￡「’ / — \ ■ 界面2 是一层厚度为d折射率为n2的介 质薄膜，均匀地附在折射率为 n3 的衬底上。当一束光射到膜面上时，在界面 1和界面2上形成多次反 射和折射，并且各反射光和折射光分别产生多光束干涉。其干涉结果