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第6章激光在精密测量中的 应用(1) 61激光干涉测量 62激光衍射测量  补充知识:迈克尔逊干涉仪 迈克尔孙干涉仪原理图(i1=0,光垂直入射)  迈克尔孙干涉仪原理图(i1≠0) 分光板  话动反射貌 钋儉板 分束板 园完反射镜  现事菌 由M2反射的光束可以当作是从它虚像M2反射过来的, 这样,发生干涉的光束相当于M1与M2之间的空气薄 膜反射形成的。  迈克耳逊干涉仪的干涉条纹 等倾干涉条纹 I M EM 重合 等厚干涉条纹 M M  若M平移心使空气膜加厚时吐出了N级条纹,则d=Nx/2  M 若M平移心使空气膜减薄时吞进了N级条纹.则d=N/2 ●  M1平移d条纹右移(或左秽川级.d=N4/2  61激光干涉测长 系统主要包括:稳频激光器、干涉仪本体及光电组合体 激光头 干涉仪本体 稳频器 氖激光器[准直透铺 光电组合体 光电转换}心放大 鉴向倍频卜[整形 大气修正一计算机}弋输出