传感器原理及应用-CCD图像传感器.ppt

利用CCD测量几何量，CCD诞生后，首先在工业检测中制成测量长度的光电传感器，物体通过物镜在CCD光敏元上造成影像，CCD输出的脉冲表征测量工件的尺寸或缺陷； 用于传真技术，文字、图象识别。例如用CCD识别集成电路焊点图案，代替光点穿孔机的作用； 自动流水线装置，机床、自动售货机、自动监视装置、指纹机； * 传感器原理及应用 CCD固态图像传感器作为摄像机或像敏器件，取代摄像装置的光学扫描系统（电子束扫描），与其它摄像器件相比，尺寸小、价廉、工作电压低、功耗小，且不需要高压; 作为机器人视觉系统； M2A摄影胶囊（Mouth anus）,由发光二极管做光源，CCD做摄像机，每秒钟两次快门，信号发射到存储器，存储器取下后接入计算机将图像进行下载。 CCD传感器应用 * 传感器原理及应用 第3章??????光电式传感器 实例1： 测量拉丝过程中丝的线径、轧钢的直径、机械加工的轴类或杆类的直径等等，这里以玻璃管直径与壁厚的测量为例。 玻璃管CCD视频信号 * 传感器原理及应用 第3章??????光电式传感器 由于玻璃管的透射率分布的不同，玻璃管成像 的两条暗带最外边界距离为玻璃管外径大小，中间 亮带反映了玻璃管内径大小，而暗带则是玻璃管的 壁厚像。 成像物镜的放大倍率为β，CCD相元尺寸为t， 上壁厚、下壁厚分别为n1、n2 ，外径尺寸的脉冲 数（即像元个数）为N，测量结果有： 分别为上壁厚、 下壁厚，外径尺寸。 * 实例2:线阵CCD进行工件尺寸测量 * 实例3： M2A胶囊 CCD在医疗诊断中的应用 * * * （3）电荷耦合器件（CCD） Charge—Coupled Devices 电荷耦合器件，又称CCD图象传感器，是一种大规模集成电路光电器件电荷耦合器件。具有光电转换，信息存储、延时、传输、处理等功能。 特点：集成度高、尺寸小、电压低（DC7～12V）、功耗小。 该技术的发展促进了各种视频装置的普及和微型化，应用遍及航天、遥感、天文、通讯、工业、农业、军用等各个领域 * 人们获取的信息量的绝大部分都是通过视觉器官得到的，为此获得性能良好的图像传感器一直是人们的追求，早期的非固态图像传感器-电子束摄像管与后来的固态图像传感器相比，有工作电压高，功耗大，寿命短，笨重等众多缺点。而固态图像传感器的开发直到集成电路出现后才开始，而怎样将光照到半导体产生的电信号，正确有效取出是图像传感器固态化最大的问题。 1969年，为了改进存储技术，美国贝尔实验室的W.S.Boyle与G.E.Smith将可视电话和半导体泡存储技术结合，设计了可以沿半导体表面传导电荷的“电荷‘泡’器件”（Charge “Bubble” Devices），率先发明了CCD （Charged Coupled Device，电荷耦合件），并在次年以 “Charge Coupled Semiconductor Devices”为题发表论文，元件本身开始是被当作单纯的存储器使用 。由于它能存储并传输信号电荷，随后人们认识到，CCD还可以利用内光电效应来拍摄并存储图象，具备图像传感器的功能。 经过人们30多年的研究与开发，CCD在像素集成度、分辨力、灵敏度，工作速度等指标上取得突破性进展，其应用正从一维、二维向三维发展，其光波范围从紫外区到红外区，目前CCD已成为光子探测及视频采集领域最重要的技术，已被普遍认为是20世纪70年代以来出现的最重要的半导体器件之一，得到了广泛应用。 可从数码相机的发展感受其进步，左上图左边是世界上第一台数码相机，其像素仅一万，用磁带存储，重达3.9公斤，右边是现在的数码相机，右上图是其拍出的第一张黑白数码相机照片，像质粗糙。CCD作为固态图像传感器有体积小、重量轻、分辨率高、灵敏度高、动态范围宽、光敏元的几何精度高、光谱响应范围宽、工作电压低、功耗小、寿命长、抗震性和抗冲击性好、不受电磁场干扰和可靠性高等一系列优点。 注意若信号电荷是由光像照射产生的，则CCD具备图 像传感器的功能；若电荷通过外界注入方式得到的，则具备 延时、信号处理、数据存储以及逻辑运算等功能。 * CCD是由一系列排得很紧密MOS（金属-氧化物-半导体)电容器组成。它是以电荷作为信号，通过电荷的存储和转移，来实现信号的存储和转移，这是它的突出特点。因此，CCD工作过程的主要问题是信号电荷的产生、存储、传输和检测。以下分别说明。 作为CCD的基本单元MOS电容器的 结构如图1所示。在硅片上通过氧 化生成一层SiO2为绝缘层，再蒸镀 一层小面积金属作为电极，称栅极 ，半导体硅(在此以P型硅为例）作 为底电极，又称衬底。 * 半导体物理学知识告诉我们，热或光的激发可在半导体内产