椭偏仪测量薄膜厚度及折射率实验报告总结计划.docxVIP

椭偏仪测量薄膜厚度和折射率实验报告 组别：69 组 院系：0611 姓名：林盛 学号：P实验题目： 椭偏仪测量薄膜厚度和折射率 实验目的： 了解椭偏仪测量薄膜参数的原理，初步掌握反射型椭偏仪的使用 方法。 实验原理： 椭圆偏振光经薄膜系统反射后， 偏振状态的变化量与薄膜的厚度和折射率有关，因此只要测量出偏振状态的变化量， 就能利用计算机程序多次逼近定出膜厚和折射率。 参数 描述椭圆偏振光的 P 波和 S 波间的相位差 经薄膜系统关系后发生的变化， 描述椭圆偏振光相对振幅的衰减。 有超越方程： E pr E pi tan E si E sr pr sr pisi 1 为简化方程，将线偏光通过方位角45 的 4 波片后，就以等幅椭圆 偏振光出射， E pi Esi ；改变起偏器方位角 就能使反射光以线偏振光出 射， pr sr 0 或 ，公式化简为： tan Epr Esr pisi 这时需测四个量， 即分别测入射光中的两分量振幅比和相位差及 反射光中的两分量振幅比和相位差，如设法使入射光为等幅椭偏光， Eip / Eis 1 ，则 tg Erp / Ers ；对于相位角，有： ( rp rs ) ( ip is ) ipis rp rs 因为入射光 ip is 连续可调，调整仪器，使反射光成为线偏光，即 rp rs =0 或（ ），则 ( ipis ) 或 ( ip is ) ，可见 只与 反射光的 p 波和 s 波的相位差有关，可从起偏器的方位角算出 . 对于特定 的膜 , 是定值 , 只要改变入射光两分量的相位差 ( ip is ) , 肯定会找到 特定值使反射光成线偏光 , rp rs =0 或（ ）。 实验仪器： 椭偏仪平台及配件 、He-Ne 激光器及电源 、起偏器 、检偏器 、 四分之一波片、待测样品、黑色反光镜等。 实验内容： 按调分光计的方法调整好主机。 水平度盘的调整。 光路调整。 检偏器读数头位置的调整和固定。 起偏器读数头位置的调整与固定。 1 / 4 波片零位的调整。 将样品放在载物台中央，旋转载物台使达到预定的入射角 70 0 即望远镜转过 40 0 , 并使反射光在白屏上形成一亮点。 为了尽量减小系统误差，采用四点测量。 将相关数据输入“椭偏仪数据处理程序” ，经过范围确定后，可以利用逐次 逼近法，求出与之对应的 d 和 n ; 由于仪器本身的精度的限制，可将 d 的误 差控制在 1 埃左右， n 的误差控制在左右。 实验数据： 实验测得数据如下： 1 波片放置角度 45 — 45 4 n 1 2 3 4 A（ ） P（ ） （注：试验中，对于角度大于 180 度，计算时减去 180 度。） 将表格中数据输入“椭偏仪数据处理程序” ，利用逐次逼近法，求出与之对应的厚度 d 和折射率 n 分别为： n 2.12 d=564nm 误差分析： 实验测得的折射率比理论值偏大，厚度比理论值偏小，其可能原因有： 待测介质薄膜表面有手印等杂质，影响了其折射率。 在开始的光路调整时，没有使二者严格共轴，造成激光与偏振片、 1/4 波片之间不是严格的正入射，导致测量的折射率与理论值存在偏差。 消光点并非完全消光，所以消光位置只能由人眼估测，所以可能引入误差。 由于实验中需多次转动及调节、安装仪器，会破坏仪器的共轴特性。虽经多次调节，但还是会产生误差。 思考题： 1 / 4 波片的作用是什么？ 1/ 4 波片使得入射的线偏振光出射后为等幅的椭圆偏振光， 从而出射光的 P 分量和 S 分量比值为一，进而使超越方程变得简单。 椭偏光法测量薄膜厚度的基本原理是什么？ 让一束椭圆偏振光以一定的入射角入射到薄膜系统的表面， 经反射后，反射光束的偏振状态（振幅和相位）会发生变化，而这种变化与薄膜 的厚度和折射率有关，因此只要能测量出偏振状态的变化量就能定出 膜后和折射率。具体关系反应在下面两个方程中： tg r 2 1 p r 2 2 p 2r1 p r2 p cos 2 1 r 2 1sr 2 2s 2r1s r2 s cos2 [ 2 1 p r 2 2r1 p r2 p cos 2 r 2 r 2 2r1s r2s cos2 1 r 2 p 1s 2 s  1/2 ] tg 1 r2 p (1 r 2 1 p ) sin 2 tg 1 r2s (1 r 2 1s ) sin 2 r1 p (1 r 2 r2 p (1 r 2 r1s (1 r 2 ) r2s (1 r 2 ) cos2 2 p ) 1 p ) cos2 2s 1s 所以若能利用消光法从实验测出椭偏系数 和 ，原则上就可以解出 薄膜的厚度和折射率。 用反射型椭偏仪测量薄膜厚度时，对样品的制备有什么要求？ 样品应为均匀