互换性与技术测量课件 第五章表面结构参数及其检测.pptVIP

5.1 表面结构的术语、定义及参数 5.1.1 用轮廓法确定表面结构的术语、定义和参数 1.一般术语及定义 1）轮廓滤波器 轮廓滤波器(profile filter)是把轮廓分成长波和短波成分的滤波器。 实际表面轮廓是由粗糙度轮廓（roughness profile）、波纹度轮廓（waviness profile）以及原始轮廓（或称形状轮廓）（primary profile）叠加而成的，如图5-1所示。这三种轮廓的相关参数分别称为R参数、W参数和P参数。 波距λ＜1mm 属于表面粗糙度 波距λ在1～10mm 属于表面波纹度 波距λ＞10mm 属于形状误差 在测量粗糙度、波纹度和原始轮廓的仪器中使用λs 、λc、λf三种滤波器，见图5-2。 （2）中线 中线(mean lines)是具有几何轮廓形状并划分轮廓的基准线。原始轮廓中线是在原始轮廓上按照标称形状用最小二乘法拟合确定的中线。 （3）坐标系 坐标系(coordinate system)是指确定表面结构参数的坐标体系。通常采用一个直角坐标体系，其轴线形成一右旋笛卡尔坐标系，X轴与中线方向一致，Y轴也处于实际表面上，而Z轴则在从材料到周围介质的外延方向。 （4）取样长度lr、lw、lp 取样长度(sampling length)是指在X轴方向判别被评定轮廓不规则特征的长度。在评定时，粗糙度轮廓和波纹度轮廓的取样长度lr和lw在数值上分别与 和 轮廓滤波器的截止波长相等。原始轮廓的取样长度lp等于评定长度。 （5）评定长度ln 评定长度( evaluation length)是指用于判别被评定轮廓的X轴方向上的长度。评定长度包含一个或几个取样长度。在测量时，一般取评定长度等于5个评定长度，此时不需说明；否则，应在有关技术文件中注明。 （5）评定长度ln 评定长度( evaluation length)是指用于判别被评定轮廓的X轴方向上的长度。评定长度包含一个或几个取样长度。在测量时，一般取评定长度等于5个评定长度，此时不需说明；否则，应在有关技术文件中注明。 2.几何参数术语及定义 1）轮廓峰 轮廓峰(profile peak)是连接（轮廓和X轴）两相邻交点向外（从材料到周围介质）的轮廓部分。轮廓峰高Zp为轮廓峰最高点距X轴的距离，如图5-3所示。 2）轮廓谷 轮廓谷(profile valley)是连接（轮廓和X轴）两相邻交点向内（从周围介质到材料）的轮廓部分。轮廓谷深Zv为X轴线与轮廓谷最低点之间的距离，如图5-3所示。 （3）轮廓单元 轮廓单元(profile element)是指为轮廓峰和轮廓谷的组合，如图5-3所示。轮廓单元的高度Zt是指一个轮廓单元的峰高Zp和谷深Zv之和；轮廓单元的宽度Xs是指X轴线与轮廓单元相交线的长度。 3.轮廓参数术语及定义 1）幅度参数（峰和谷） （1）最大轮廓峰高Rp、Wp、Pp 最大轮廓峰高(profile peak height )是指在一个取样长度内，最大的轮廓峰高Zp。 （2）最大轮廓谷深Rv、Wv 、Pv 最大轮廓谷深(profile valley depth )是指在一个取样长度内，最大的轮廓谷深Zv。 （3）轮廓的最大高度Rz 、Wz 、Pz 轮廓的最大高度(maximum height of prfile )是指在一个取样长度内，最大轮廓峰高 和最大轮廓谷深之和，如图5-4所示。粗糙度轮廓最大高度的计算式为 Rz=Rp+Rv (5-1) 在旧标准中也有轮廓最大高度，其符号为Ry。旧标准中微观不平度十点高度Rz，在新标准中已取消。 （4）轮廓单元的平均高度Rc、Wc、Pc 轮廓单元的平均高度(mean height of profile element)是指 在一个取样长度内，轮廓单元高度Zt的平均值。 （5）轮廓的总高度Rt、Wt、Pt 轮廓的总高度(total height of profile)是指在评定长度内， 最大轮廓峰高和最大轮廓谷深之和。 （1）轮廓的算术平均偏差Ra、Wa、Pa 轮廓的算术平均偏差(arithmetical mean deviatin of profile)是指在一个取样长度内纵坐标值Z(x)绝对值的算术平均值（如图5-5所示），其计算式为 (5-2) （2）轮廓的均方根偏差Rq、Wq、Pq