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多晶硅生产工艺和反应原理 第一节多晶硅的基础知识 多晶硅的基础知识重要的半导体材料， 化学元素符号 Si，电子工业上使用的硅应 具有高纯度和优良的电学和机械等性能。硅是产量最大、应用最广的半导体材料，它 的产量和用量标志着一个国家的电子工业水平。 在研究和生产中，硅材料与硅器件相互促进。在第二次世界大战中，开始用硅制 作雷达的高频晶体检波器。所用的硅纯度很低又非单晶体。 1950 年制出第一只硅晶 体管，提高了人们制备优质硅单晶的兴趣。 1952 年用直拉法 (CZ) 培育硅单晶成功。 1953 年又研究出无坩埚区域熔化法 (FZ) ，既可进行物理提纯又能拉制单晶。 1955 年 开始采用锌还