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- 2020-11-17 发布于河北
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一、项目发展背景
MEMS传感器即微机电系统(MicroelectroMechanicalSystems)在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过40多年的发展,已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术,具有广阔的应用前景。
过去几年中,MEMS传感器的销售额一直保持着稳步的增长。2017年,全球MEMS传感器和执行器总体市场规模为115亿美元,其中MEMS传感器为61亿美元,增长17.3%,预计2018年,全球MEMS传感器销售额将增长10%以上,达到68亿美元。
美国是MEMS产业、技术和产品的发源地,其发展水
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