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四川传感器项目立项申请 一、项目基本情况 （一）项目名称 四川传感器项目 MEMS传感器指可批量制作的，将微型传感器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一体的微型器件或系统，即利用传统的半导体等材料，用微纳加工技术在芯片上制造微型机械，并将其与对应的ASIC芯片集成为一个整体。MEMS技术目前被称为最炙手可热的半导体技术之一。与传统的传感器相比，基于半导体技术和微纳加工技术的MEMS传感器具有体积微小、低功耗、一致性高等特点，可大批量、低成本制造，大大拓宽了传感器的应用领域，为智能设备的发展奠定了重要的技术基础，已成为主流的传感器技术。 MEMS传感器技术虽然在全球只有2