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内层乾膜作业流程指导书 目的： 建立操作程序方法及制度，并提供作业人员及新进人员训练参考之教材。 范围： 本操作规范适用於内层课作业人员，於作业内层板时使用 权责： 3-1. 该生产单位负责内层之运作及生产工作，依化验数据配制及添加化学药品、化学用品之领用及存放 3-2. 化验室负责管控全场药液取样、分析及提出化验报告。 3-3. 维修单位须负责机器设备异常的处理。 4.作业流程说明： 4-1.针对各制程段进行机器、材料、药水浓（温）度等制程条件进行定期检验，以达到制程稳定品质提升之效能。 制程 管控项目 换槽/添加规定 配槽量 配槽说明 脱脂槽 换槽：（每星期） 漏掉槽液。 清除槽底污垢。 重新配槽如配槽程序。 注意事项： 加药时须佩带护目镜、耐酸硷手套及 耐酸硷围裙避免药液喷溅造成伤害。 如不慎皮肤接触药液时，应立即以大 量清水冲洗，如有不适时应立即送 医。 槽体积：1000 L 酸性清洁剂 （C768S： 40L 先注入纯水至槽内1/2水位再倒入酸性清洁剂 （C768S 40L再将水加入标准位置。 搅拌时间需达到10分钟以上，并且空机run 15分 钟以上让药水完全混合均匀。。  制程 管控项目 换槽/添加规定 配槽量 配槽说明 微蚀槽 HSQ: 2?5% SPS 70?100 g/l 2+ Cu : Below35 g/l 温度控制：28 ± 2C 换槽：（铜含量达35 g/l ） 1.漏掉槽液。 清除槽底污垢。 重新配槽如配槽程序。 每日取样依化验室分析数据添加。 化验後添加： 1.磅秤所应添加入槽中之SPS後，将 SPS倒入配槽用水桶，取微蚀槽内之原 液加入配槽用水桶、（目地为加水会稀释 原药液）、搅拌使SPS溶解後，始倒入工 作槽内。 注意事项： 加药时须佩带护目镜、耐酸硷手套及 耐酸硷围裙避免药液喷溅造成伤害。 如不慎皮肤接触药液时，应立即以大 量清水冲洗，如有不适时应立即送 医。 槽体积：1000 L SPS 75 kg 硫酸 50%： 50 kg 硫酸 98%: 2 gal 化验後：使用量桶装 盛SPS磅秤化验後所 需重量。 1?将微蚀槽加入纯水400公升。 倒入铜面处理剂（sodium persulfate ）简称 SPS-e285 3包75 kg,搅拌均匀，或用水桶搅拌均 匀再倒入槽内。 倒入硫酸50% 2桶50 kg。 倒入硫酸98% 2 gal，加水至1000L即完成配槽。在 配完槽时，到入原先预留旧液 5公升，目的是让化 学反应更快，并且空机run 15分钟以上让药水完全 混合均匀。 未经搅拌溶解之SPS药粉，不能直接倒入槽内。 搅拌时间需达到10分钟以上。  制程 管控项目 换槽/添加规定 配槽量 配槽说明 酸洗槽 换槽：（每班） 漏掉槽液。 清除槽底污垢。 重新配槽如配槽程序。 注意事项： 加药时须佩带护目镜、耐酸硷手套及 耐酸硷围裙避免药液喷溅造成伤害。 如不慎皮肤接触药液时，应立即以大 量清水冲洗，如有不适时应立即送 医。 槽体积：250 L 硫酸 98%： 2gal 1.先注入纯水至槽内1/2水位再倒入硫酸98% 2gal再 将水加入标准位置。 显影槽 PH值：?。 温度：28?30C。 CGf: 9 ?12 g/l。 换槽：（每星期） 漏掉槽液，清除槽底污垢。 加入TC-607显影槽清洁剂600L,加 满水，升温45C,空Run 1小时。 3?待清洗完毕後，漏掉清洁剂，加入清 水清洗2次，每次30分钟，完成後 更换滤心，即完成洗槽。 重新配槽如配槽程序。 每日取样依化验室分析数据添加。 注意事项： 加药时须佩带护目镜、耐酸硷手套及 耐酸硷围裙避免药液喷溅造成伤害。 如不慎皮肤接触药液时，应立即以大 量清水冲洗，如有不适时应立即送 医。 槽体积约1000 L。 PC-450显影液约 22L。 按下添加水开辟注入纯水於预备槽，待水位达到 1/2，将PC-450显影液8 L倒入後，在将水加至 365L，打开搅拌器，搅拌时间需达15分钟以上，使 水及显影液混合均匀，才可注入建浴槽。 当完成配槽後、人员需做最後确认、开启搅拌开关 时、一定要打开预备槽，槽盖确认搅拌器是否有动 作，避免显影浓度不均。 制程 管控项目 换槽/添加规定 配槽量 配槽说明 制程管控项目 制程 管控项目 换槽/添加规定 配槽量 配槽说明 制程 管控项目 换槽/添加规定 配槽量 配槽说明 蚀刻槽 比重：?。 Acid :?。 CiT: 115?135。 漏掉槽液。 清除槽底污垢。 重新配槽如配槽程序。 每日取样依化验室分析数据添加。 注意事项： 加药时须佩带护目镜、耐酸硷手套及 耐酸硷围裙避免药液喷溅造成伤害。 如不慎皮肤接触药液时，应立即以大 量清水冲洗，如有不适时应立即送 医。 槽体积：1500 L。 HCL CC-