薄膜力学性能素材讲课讲稿.pptVIP

薄膜力学性能素材;定 义; 分 类;4.1 薄膜的弹性性能;;单面镀膜的膜基复合薄板的抗弯刚度 为 ;压痕法;为约化弹性模量;二、薄膜的应力应变关系;基体和薄膜作为一个整体的试件在外加载荷 作用下，分别加载在基体和薄膜上 ;2. 压痕法;图1 幂指数应力－应变关系图;在压痕测试过程中，加载载荷不断增大，一旦材料发生屈服，外载 可视为下列独立参数的函数：材料的杨氏模量 、泊松比 ,压头的杨氏模量 、泊松比 ， 屈服强度 ，硬化指数 ，压痕深度以及压头半径 。故 可表示为 ;对(4.17)式进行???纲分析，得 ;表4.1 式(4.21)中对应于hg /R 的系数;图2 根据p-h 曲线确定应力－应变关系的流程图;4.2 薄膜的残余应力; 薄膜—基底体系中由于晶格常数失配在薄膜中产生的内应力由Hoffman的晶界松弛模型得到 ;二、残余应力的测量; Stoney公式广泛应用于计算薄膜的残余应力，但使用时应明确该公式的适用范围， Stoney公式采取了如下假设;2.多层薄膜的情形;;图3 柱坐标系下由于基底中面转动引起的应变;小变形时 和 分别为 ;应变能处于平衡状态需满足 ， 。 即导出 ;4. 一级近似的薄膜应力梯度分布 ; X射线衍射法测定材料中的残余应力的原理是因为物体内