嵌套环MEMS陀螺零偏稳定性提升关键技术研究.pdfVIP

目 录 摘 要 i Abstract iii 第一章 绪论 1 1.1 研究背景与意义 1 1.2 嵌套环 MEMS 振动陀螺研究进展 2 1.2.1 固体波动陀螺从三维立体结构到二维平面结构的演化 2 1.2.2 二维平面结构固体波动陀螺由单环结构到嵌套环结构的演化 4 1.2.3 嵌套环 MEMS 陀螺的发展 5 1.3 本文主要研究内容 13 第二章 嵌套环 MEMS 陀螺工作原理与基础理论模型 15 2.1 嵌套环 MEMS 陀螺简介 15 2.1.1 基本结构 15 2.1.2 工作原理 16 2.2 嵌套环 MEMS 陀螺分布参数动力学模型 17 2.3 嵌套环 MEMS 陀螺等效集中参数动力学模型 28 2.3.1 理想情况下集中参数动力学方程 28 2.3.2 集中