嵌套环式MEMS振动陀螺的结构分析与优化.pdfVIP

i ABSTRACT iii 1 1.1 1 1.2 MEMS 2 1.2.1 2 1.2.2 3 1.2.3 4 1.2.4 7 1.3 8 1.3.1 8 1.3.2 12 1.3.3 15 1.4 17 19 2.1 19 2.2 23 2.3 31 2.3.1 32