基于平移旋转差分重构的光学面形自校准检测技术研究.pdfVIP

目 录 摘 要 i Abstract iii 第一章 绪论 1 1.1 选题背景与研究意义 1 1.1.1 课题来源 1 1.1.2 选题背景及意义 1 1.2 研究现状概 5 1.2.1 绝对检测技术研究现状概 5 1.2.2 多传感器误差分离技术研究现状概 8 1.3 论文研究内容和结构安排 14 1.3.1 研究对象和研究内容 14 1.3.2 论文结构安排 15 第二章 基于差分法的绝对检测 17 2.1 差分法在绝对检测中的运用 17 2.2 平移剪切法 18 2.3 双剪切平移法 23 2.3.1 双剪切平移法频域分析 24 2.3.2 双剪切平移重构算法 25 2.3.3 仿真分析 28 2.4 旋转平移法 33 2.4.1 传统旋转平移法检测原理 33 2.4.2 旋转参数确定 38 2.4.3 基于矩阵重构的旋转平移法 39 2.4.4 基本原理 40 2.4.5 仿真分析 41 2.5 试验验证 43 2.5.1 双剪切平移法实验 43 2.5.2 旋转平移法实验 47 2.6 本章小结 48 第三章 旋转平移三平板绝对检测50 第I页 3.1 传统三平板及拓展方法 50 3.2 旋转平移三平板法 54 3.3 仿真分析 61 3.4 实验验证 64 3.5 本章小结 68 第四章 基于角度测量的多平移旋转绝对检测70 4.1 多平移旋转绝对检测原理 70 4.1.1 测量数学模型 71 4.1.2 基于子孔径拼接的绝对检测方法 73 4.1.3 仿真分析 76 4.2 实验验证 79 4.3 本章小结 82 第五章 双剪切扫描误差分离检测技术83 5.1 双剪切虚拟多传感器扫描测量 83 5.1.1 剪切平台设计 85 5.1.2 双剪切扫描测量法 87 5.2 双剪切扫描测量重构仿真分析 89 5.3 基于线轮廓的面形拼接 98 5.4 线轮廓拼接仿真 100 5.5 实验验证 103 5.5.1 测量系统的构成与测试 103 5.5.2 线轮廓测量分析 108 5.5.3 线轮廓拼接测量实验 112 5.6 展望 116 5.7 本章小结 116 第六章 总结与展望 118 6.1 全文总结 118 6.2 研究展望 120 致 谢121 参考文献122 作者在学期间取得的学术成果130 第II页 表 目 录 表1.1 绝对检测方法汇总对比 13 表1.2 多传感器误差方法汇总对比 14 表4.1 重构误差的PV 和RMS 值78 表4.2 角度测量的重复性结果 79