薄膜物理课件-(12)教学文稿.pptVIP

薄膜物理课件-(12);薄膜的结构与缺陷;形成无定形薄膜的工艺条件是降低吸附原子的表面扩散速率;在10-2～10-3Pa氧分压中蒸发铝、镓、铟和锡等超导薄膜， 由于氧化层阻挡了晶粒生长而形成无定形薄膜;2. 多晶结构;用真空蒸发或阴极溅射法制备的薄膜，都是通过岛状结构生 长起来，必然产生许多晶粒间界形成多晶结构;讨论：晶界或晶粒间界所表现出两个的特征：;多晶薄膜中晶界 (晶粒间界)处原子扩散问题是薄膜物理研究 的一个重要内容;3. 纤维结构;在薄膜中晶粒的择优取向可发生在薄膜生长的各个阶段：;3. 单晶结构;薄膜的结构与缺陷;二、薄膜的晶体结构;由于晶格常数不匹配，在薄膜与基体的界面处晶粒的晶格发 生畸变形成一种新晶格，以便和基体匹配;假设基体表面上有一个半球形的晶粒其半径为r，单位面积的 表面张力为σ;EV：薄膜的弹性系数 a： 晶格常数;晶格常数的变化比为;三、表面结构;由于吸附原子的表面扩散，使薄膜表面上的谷被填平，峰 被削平，导致薄膜表面积不断缩小，表面???逐步降低;在基体温度较低的情况下，吸附原子在表面上横向运动的能 量较小，薄膜表面面积随膜层厚度成线性增大。所得表面面 积较大，形成多孔结构薄膜，这种微孔内表面积很大，而且 可延续到最低层，形成柱状体结构;大多数蒸发薄膜有如下特点：;原子的沉积过程可分为三个过程：;薄膜的结构与缺陷;薄膜的结构与缺陷;薄膜的结构与缺陷;