传感器与检测技术 气敏与湿敏传感器 8-2 湿敏传感器.pptxVIP

第9章 气敏与湿敏传感器;8.2 湿敏传感器 8.2.1 湿敏传感器概述组成;8.2.1 湿敏传感器概述组成; 3. 湿敏传感器的分类 按输出的电学量可分为电阻式、电容式等； 按探测功能可分为绝对湿度型、相对湿度型和结露型等； 按感湿材料可分为陶瓷式、高分子式、半导体式和电解质式等。;8.2.2 电阻式湿敏传感器; 若只采用一个湿敏电阻元件，则其检测范围狭窄。将氯化锂含量不同的几种传感器组合使用，其检测范围可达(15～95)％RH。 图8.19 组合式氯化锂湿敏传感器???构图 氯化锂湿敏电阻的优点是：滞后小；不受测试环境（如风速）影响；检测精度高达±5%； 其缺点是：耐热性差；不能用于露点以下测量；器件重复性差，使用寿命短。; 2. 陶瓷式电阻湿敏传感器 制作陶瓷式电阻湿敏传感器的材料有ZnO-LiO2-V2O5系、Si-Na2O-V2O5系、TiO2-MgO-Cr2O3系和Fe3O4系等。前三种材料的电阻率随湿度的增加而下降，称为负特性湿敏半导体陶瓷，如图8.20所示；后一种的电阻率随湿度的增加而增加，称为正特性湿敏半导体陶瓷，如图8.21所示。 陶瓷式电阻湿敏传感器的优点：传感器表面与水蒸气接触面积大，易于水蒸气的吸收与脱却；陶瓷烧结体能耐高温，物理、化学性质稳定，适合采用加热去污的方法恢复材料的湿敏特性；可以通过调整烧结体表面晶粒、晶粒界和细微气孔的构造，改善传感器湿敏特性。; 3. 高分子式电阻湿敏传感器 这类传感器是利用高分子电解质吸湿而导致电阻率发生变化的基本原理来进行测量的。通常将含有强极性基的高分子电解质及其盐类（如-NH4+Cl-、-NH2、-SO3-H+）等高分子材料制成感湿电阻膜。 高分子式电阻湿敏传感器测量湿度范围大，工作温度在0～50℃，响应时间，测量范围为0～100%RH，误差在±5%RH左右。 高分子湿敏传感器由感湿膜（聚乙烯醇、聚苯乙烯磺酸铵）、基片（厚 0.6mm氧化铅）、电极（Au做成叉指型）组成。; 4. 热敏电阻绝对湿度传感器 相对湿度（RH）受温度影响较大，一个有限空间内因空气的热传导率低温度分布不均，室内湿度会产生较大的误差；绝对湿度随温度变化不大，不受水蒸气分布的影响，测量比较准确。 热敏电阻绝对湿度传感器由两个热敏电阻构成，各自加热到200℃左右，其中一个封入干燥空气成为补偿组件，另一个开放型作为感湿组件。测量时与固定电阻、构成测量电桥,如图8.24所示。 由于水蒸气的热传导率比空气的大，空气的热传导率随湿度变化,使感湿元件阻抗变化，电桥输出电压与绝对湿度基本成正比。图8.25为CNS-1型热敏电阻绝对湿度输出特性图。;;8.2.3 电容式湿敏传感器;图8.28 多孔 电容湿敏感湿特性; 图8.30 多层聚合物结构结构图 ;8.2.4 集成电容式湿敏传感器IH3605