压电式传感器介绍与应用.ppt

压电式传感器介绍和应用;压电式传感器是力敏感元件，将被测量力、压力、加速度等转换成压电器件的表面电荷量，以实现非电量的电测目的。 压电式传感器是以某些晶体受力后，在其表面产生电荷的压电效应为转换原理的传感器。（敏感元件：压电材料/晶体） 它可以测量最终能变换为力的各种物理量，如力、压力、加速度等，实现非电量的测量，是一种典型的有源传感器（发电型/自发电式/机电转换式）； 压电式传感器具有体积小，重量轻，工作频带宽、灵敏度高、工作可靠、测量范围广等特点，因此在各种动态力、 机械冲击与振动的测量，以及声学、医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。;第七章 压电式传感器;7.1 压电效应及压电材料;1. 正压电效应;机械能→→→电能;在压电材料的两个电极面上，如果加以交流电压，那么压电片能产生机械振动，即压电片在电极方向上有伸缩的现象，这种现象称为“电致伸缩效应”，也叫做“逆压电效应”。（施加电场→电介质产生变形→应力） 常见的压电材料由石英、钛酸钡、锆钛酸铅等。;自然界许多晶体具有压电效应，但十分微弱，研究发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅是优能的压电材料。 压电材料可以分为两类：压电晶体、压电陶瓷。????;石英晶体有三个晶轴： X轴——电轴或1轴，通过六面体相对的两个棱线，并垂直于光轴； Y轴——机械轴或2轴，垂直于两个相对的晶柱棱面； Z轴——光轴或3轴，与晶体的纵轴线方向一致（与x，y轴垂直）;7.1 压电效应及压电材料;7.1 压电效应及压电材料;7.1 压电效应及压电材料;7.1 压电效应及压电材料;7.1 压电效应及压电材料;极化强度在数值上等于晶面上的电荷密度;（2）同理，在Y轴方向上，施加外力FY时，;②相应的逆压电效应产生的形变;7.1 压电效应及压电材料;7.1 压电效应及压电材料;晶片电荷极性与受力方向关系;7.1 压电效应及压电材料;7.1 压电效应及压电材料;（2）极化过程;（3）压电效应分析;（3）压电效应分析;施加压力，陶瓷片压缩形变。 正、负电荷间的距离变小，极化强度也变小。释放部分自由电荷——放电;（3）压电效应分析;若所加电场与极化方向??同，则陶瓷片沿极化方向产生伸长形变。;7.1 压电效应及压电材料;;;7.2 压电传感器的等效电路;7.2 压电传感器的等效电路;特点：压电晶体不适合静态测量;当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同； 当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。;7.2 压电传感器的等效电路;由于压电式传感器的输出电信号很微弱，不能直接显示和记录； 通常先把传感器信号先输入到高输入阻抗的前置放大器中，经过阻抗交换以后，方可用一般的放大检波电路再将信号输入到指示仪表或记录器中； 测量电路的关键在于高阻抗输入的前置放大器； 压电式传感器要求测量电路的输入阻抗很高，防止电荷泄露，而增大测量误差； 前置放大器两个作用：①把压电式传感器的高输出阻抗变换成低阻抗输出 ②放大压电式传感器输出的微弱信号;7.2 压电传感器的等效电路;7.2 压电传感器的等效电路;放大器输入端的电压Ui，其复数形式为;结论：;压电式传感器介绍和应用;压电式传感器介绍和应用;6.2 压电材料 6.2.1 石英晶体 ;;6.2 压电材料 6.2.2 压电陶瓷 ;6.2 压电材料 6.2.2 压电陶瓷 ;6.2 压电材料 6.2.2 压电陶瓷 ;6.2 压电材料 6.2.2 压电陶瓷 ;6.2 压电材料 6.2.2 压电陶瓷 ;6.2 压电材料 6.2.2 压电陶瓷 ;6.2 压电材料 6.2.2 压电陶瓷 ;6.2 压电材料 6.2.2 压电陶瓷 ; 压电陶瓷之所以具有压电效应，是由于陶瓷内部存在自发极化，这些自发极化经过极化处理后，被迫按一定方向排列，且陶瓷内存在剩余极化强度。 若外界的作用（如压力或电场）能使此极化强度发生改变，陶瓷就出现压电效应。;;6.4 压电式传感器测量电路 6.4.1 压电式传感器的等效电路;6.4 压电式传感器测量电路 6.4.1 压电式传感器的等效电路 （1）电荷等效电路;6.4 压电式传感器测量电路 6.4.1 压电式传感器的等效电路 （1）电压等效电路;6.4 压电式传感器测量电路 6.4.1 压电式传感器的等效电路;6.4 压电式传感器测量电路 6.4.2 压电式传感器的测量电路;6.4 压电式传感器测量电路 6.4.2 压电式传感器的测量电