大连理工大学,机械工程学院,卓机械电子学第六章检测部件.pptVIP

大连理工大学,机械工程学院,机械电子学第六章检测部件;接触式;英国Ferranti 公司早在50 年代开始研制 德国Zeiss 公司于1973 年推出UMM500 三坐标测量机。70 年代末期，Zeiss 公司研制出气浮导轨(空气轴承)，采用花岗岩材料作为三坐标测量机的工作台、横梁和主轴，提高了测量精度。 还有瑞典的海克斯康、意大利的DEA 公司、美国的Brown-Sharpe 公司、英国的ZK 公司、比利时的Metris公司等。;ZEISS CMM 桥式、龙门式、单臂式;接触式触发测头;CMM的触发式测头工作原理;;便携式CMM;超声波测厚;X射线检测系统;涡流测量;三角法激光位移测量;硅晶片的厚度 ;激光干涉仪主要用于机械制造设备的精度测量。;Renishaw ML10 GOLD激光干涉仪;API激光干涉仪;定位精度测量;非接触三维测量;文物;柯尼卡美能达 VIVID 9i;德国GOM 公司的ATOS 系统 ;Leica激光跟踪仪;6.2 机电系统中的实时位移检测部件;脉冲编码器的工作原理;光栅尺工作原理;脉冲编码器和光栅尺的输出信号;绝对式脉冲编码器和光栅尺;串行式绝对式光栅;6.3.1 四倍频及辨向电路;6.3.2 UP/DOWN计数电路（可逆计数电路）;6.3.3 专用的正交脉冲解码/计数电路;LSI 公司的24位多功能计数器LS7166和LS7266R1：;Than