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扫描隧道显微镜 (STM) Scanning Tunneling Microscope 一 、 简介 二 、 基本原理 三 、 STM 的结构及关键技术 四 、 应用 1 ． 表面形貌测量及分辨率 2 ． 逸出功的测量 3. 扫描隧道谱 (STS) 五 、 原子力显微镜（ AFM ） 1 ． 特点 2 ． 工作原理 3 ． 结构及关键技术 Δ 力传感器 Δ 微悬臂位移检测法 4 ． 应用例举 六 、 扫描探针显微镜（ SPM ） 一、 简介 1 ．从光学显微镜→电子显微镜→场离子显微镜→ STM 分辨 200nm 几个 nm ? 2 ．原理 3 ．独特优点： Δ 观察表面形貌达原子分辨 Δ 无需任何透镜，不存在象差 Δ 可在各种条件下测量： 真空、大气、水、油及液氮中 Δ 广泛的应用： 形貌、表面电位、电子态分布 原子力显微镜及原子探针显微镜 纳米技术、表面微细加工、搬动原子 1986 年获诺贝尔物理奖 (G.Binnig and H.Rohrer) 二 、 基本原理 1 ．隧道电流 隧道结电流密度（对两平行金属） s ：有效隧道距离 V T ：所加电压 k o ： k o = φ：有效势垒高度 φ＝1/2 (φ 1 +φ 2 )eV 对于真空是几个电子伏 对氧化物小于 1 电子伏 I-s 有指数关系： I ∝ exp[ -2k o s] 隧道电流在 10 － 9 － 10 － 6 A 量级 当 s 增加Δs时： I ∝ exp[ -2k o s] · exp[-2k o Δs] 设 Δs =1 ? ， k o ≈1 ? － 1 (φ ～ 5eV) 则 exp[-2k o Δs] = e － 2 ≈ 1/8 即：当 s 增加 1 ? 时， I 将减少一个数量级。 2 ．工作模式 △ 恒高模式 用隧道电流的大小来调制显象管的亮度 △ 恒电流模式 用电子学反馈的方法控制针尖与样品间 距离不变 ( 保持隧道电流不变 ) ，用反馈调 制电压控制显象管亮度或画出表面形貌三 维图象。 精度控制估算： 由 I ∝ exp[ - 2 k o s] lnI = - 2 k o s + 常数 两边微分 ΔI/I = - 2 k o Δs 若保持隧道电流 I 不变 ΔI/I 在± 2 ％之内 （电路控制可达精度） 设 k o ≈1 ? － 1 ，则 Δs ≈ 0.01 ? 表明：针尖至表面距离的控制精度可达 0.01 ? 三 、 扫描隧道显微镜的结构 1 . 技术关键 △ 微小距离的移动及控制－压电陶瓷 位移灵敏度在 5 ? /V 量级 STM 针尖半径 R 3-10 ? 针尖与表面距离 2-5 ? △ 防震 2. 结构 三维控制的压电陶瓷： Px 和 Py 上加周期锯齿波电压，使针尖沿表 面作光栅扫描。 利用隧道结电流 I 反馈，控制加于 Pz 上的电 压来控制 s ，以保持 I 不变。 如s↗ → I↘→ Pz上的电压↗→ Pz 伸长 → s↘。 V Pz (V Px ,V Py ) 曲线为样品表面三维轮廓线。 △ XYZ 位移器（样品位置细调〕 微小距离移动的精确控制 △ 样品粗调 使针尖与表面的距离，从光学可觉察的距离 (10- 100μm) 调整到 100 ? 量级 － Louse 结构 － 精细螺旋机构 △ 防震系统分析 － 使由振动引起的隧道距离变化 ? 0.001 nm ( 振动：针对重复性、连续的，通常频率在 1 － 100Hz) 四 、 扫描隧道显微镜的应用 1 ．表面形貌测量及其分辨率 假设样品表面存在陡变台阶，由于针尖半径 R 有一定尺寸，针尖的轨迹将有一过渡区δ。δ与 R 、 s 和 k o 有如下近似关系： R ：针尖半径 S ：针尖至表面距离 若 R = 3 ? , s = 2 ? , k o = 1 ? -1 则 δ≈1.6 ? ( 分辨率 ) 只有在表面各处逸出功相同时，针尖在 z 方向的 位移才表示样品外形的起伏。 K o = φ = (1/2)(φ 1 +φ 2 ) 2 ． 逸出功的测量 由 I ∝ exp[ - 2 k o s] ΔI/I = - 2 k o Δs ΔI/Δs = 2Ik o 若 I 保持不变 则：dI/ds ∝ k o ∝φ 1/2 工作方式： 扫描中保持 I 不变，使 s 有一交流调制， dI/ds 随 x,y 变化。 dI/ds(x,y) 平方后即为逸出功象。 3 ．扫描隧道谱 (STS) 在表面的某个位置作 I-V 或 dI/dV － V ，得有特征 峰的 STS 。在特征峰电压处，保持平均电流不变，使 针尖在 X 、 Y 平面扫描，测 dI/dV 随