第10章 位移 数字传感器.ppt

三、 测量电路 动态磁头 一般只装一个，绕组中输出正弦波，输 出信号为正弦波，只要将输出信号放大整形，然后由 计数器记录输出信号的周期个数，就可以测量出位移 量的多少。 缺点：不能辨别运动方向，测量精度低。 静态磁头 一般装两个互差 90 度的磁头，两磁头相 距，其中 m 为任意正整数， d 为磁栅节距，能辨别运 动方向，测量精度高，其信号处理方式相对比较复杂。 主要分幅值测量和相位测量两种方法。 1. 幅值测量 在幅值测量电路中，相邻两个磁头的输出电压可用以下 两式表示： u 1 ? U m sin( 2 ? x / d ) sin ? t u 2 ? U m cos( 2 ? x / d ) sin ? t u 1 ? U m sin( 2 ? x / d ) 去掉高频载波后 2 倍与励磁角频率 u 2 ? U m cos( 2 ? x / d ) 将上面的两路互差 90 度的输出信号分别进行去除高次 谐波处理后 , 再进行细分和辩向处理、计数输出。 2. 相位测量 相位测量是将其中一个磁头的励磁电流移相 45 度或输出 信号 90 度后，其输出信号为 u 1 ? U m sin( 2 ? x / d ) cos ? t u 2 ? U m cos( 2 ? x / d ) sin ? t 将以上两个输出信号叠加，则可获得总输出信号为： 2 ? x u ? U m sin( ? t ? ) d 结论： 在磁矩 d 一定的情况下，输出电压的相位由位移 量 x 决定，即只要测量出输出电压相位的大小，就可以测 量出位移量的大小。 四、磁栅数显示表及其应用 第三节 ? 容栅传感器 容栅传感器是利用电容的电荷耦合方式将机械位移量 转变成为电信号的一种传感器 。 一、容栅的结构形式与工作原理 容栅按其结构形式可分为长容栅和圆容栅两大类。长容 栅主要用于直线位移测量，圆容栅主要用于角位移测量。长 容栅的结构原理如图 10-19 所示。 接收电极R 动栅尺 12 34 5 6 7 8 定栅尺 屏蔽 反射电极E 反射式容栅 屏蔽 发射电极S ? ? ? 长容栅由定栅尺和动栅尺组成，国内一般用敷铜板制造。 圆容栅主要由以透射板作主栅、以分别置于主栅两面的、 保持最佳恒定距离的发射极板和接收极板作分体式副栅构成。 对于长容栅，当动栅尺沿方向平行于定栅尺移动时，每对 容栅的覆盖面积将发生周期性变化，电容量也随之发生周期 性变化，如图 10-20 所示 C C m C 0 定栅尺反射电极的极距 d d 2 d x 二、容栅传感器电极的结构形式 ? 常用的电极的结构形式有反射式、透射式和倾斜式。 透射式容栅传感器结构示意图 三、测量电路 ? ? 容栅式电容传感器测量电路主要有调幅式和调相式测量 电路两种形式。 1. 调幅式测量原理 A 组 B 组 1 2 3 4 5 6 7 8 9 B l 0 2 l 0 2 x ? U 0 S 1 测量转换系统 显示装置 p 位置 a P A U m S 2 ? U 0 A 组 B 组 方波发生器 1 2 3 4 5 6 7 8 9 p 位置 b 调幅式测量原理 电极相对位置图 ? 当静电极片 P 相对于两组动栅片 A 和 B 有位移时，差动电容 器 C A 、 C B 不等，电容静极板 P 上的电荷量发生变化，有 Q P ? ( U m C A ? U m C B ) ? ( U 0 C B ? U 0 C A ) 从而导致 Um 由原来的 0 发生改变，这时可以通过电子开关 C 改变差动电容器 C A 、 C 的输入电压，使得 Q 的值减小，直 B P l 至为零。这时有 : 0 0 C A ? C 0 ( 1 ? x / l 0 ) C B ? C 0 ( 1 ? x / l 0 ) 上两式中 C0 为初始电容量， l 0 为发射电极的极距，则 x U m ? U 0 l 0 x ? 0 2. 调相式测量原理 ? 调相式测量原理如图 10-23 所示。 0 发射电极 S 反射电极 E 接收电极 R 1 ? / 4 ? / 2 3 ? / 4 ? 5 ? / 4 3 ? / 2 ? ? / 4 2 3 4 5 6 7 8 l 0 (a) 动栅尺与静栅尺相对位置示意图 x ? 0 8 1 ? ? / 4 发射电极 S 反射电极 E 接收电极 R 1 0 2 ? / 4 ? / 2 3 ? / 4 3 4 5 ? 5 ? / 4 3 ? / 2 ? ? / 4 6 7 x （ b ） 动栅尺与静栅尺相对位置示意图 x ? 0 ? 当两个极板相对移动 x (x l 0 /2) 而处于位置 b 时，反射 极片 E 上感应的电荷为， x Q E ? C 0 U m sin( ? t ? 45 ? ) ? C 0