2020光学镀膜真空技术.pptVIP

维护 和保养 一、注意事 项 ： 1 ．保 证 真空 泵 的清 洁 ，防止 杂 物 进 入 泵 内。 2 ．保持真空 泵 油位。 3 ．存放下当水份或其它 挥发 性物 质进 入 泵 内而影响极限真空 时 ， 可开气 镇阀净 化之， 观 察极限真空回升情况，数小 时 无效， 应 更 换泵 油，必要 时 可再次更 换 。 换 油方法 ： 泵 运 转约 半小 时 ，使油 变 稀，停 泵 从放油孔放油，再敞开 进 气口运 转 10 ～ 20 秒 钟 ，此 间 可从吸气口 缓缓 加入少量清 洁泵 油，以更 换泵 腔内存油。如出来的油很 脏 ，后者可重复 进 行。 ? ? 4 ．真空 泵 不可混入柴油、汽油等其它 饱 和蒸汽 压较 大的油 类 ，以免降低极限真空。拆洗 泵 内零 件 时 ，一般用 纱 布擦拭即可以。若 发现 有金属碎 屑、砂泥或其它有害物 质 必 须 清洗 时 ，可用汽油 等擦洗，干燥后方可装配，切忌用汽油浸泡。 5 ．倘若因 泵 需拆开清洗或 检 修，必 须 注意拆装 步 骤 ，以免 损 坏机件。 高真空泵： 一般高真空获得设备包括扩散泵、分子 泵或低温泵。 扩散泵 涡轮分子泵 低温泵 最常见泵的工作原理 油扩散泵工作原理 扩散泵油被泵外电炉加热产生油蒸气 油蒸气沿蒸气导管上升到管顶 油蒸气经