DIP十二工位全自动超声波清洗机的应用.docxVIP

DIP 十二工位全自动超声波清洗机的应用 李智峰 湖南金能自动化设备有限公司 410012 摘要：本文论述了一种新型全自动超声波清洗机的的工作原理及实际应用， 该清洗机综合运用了当今国际最前沿最先进的清洗技术。 本设备是铬版制作中掩膜抛光后的高精度清洗设备，清洗后的产品洁净度可达 0.25 μm。该产品可以应用于同行业不同的工序或其他行业要求高精度清洗工序中。 近年来， IC 制造业和平板显示制造业在我国的发展很快，高洁净度清洗机作为微电子行业和平板显示行业的关键的设备之一， 其技术水平和清洗精度直接影响我国电子信息技术的发展。 近年来 , 清洗技术在我国进步很快 , 但与微电子行业和平板显示行业的要求相差甚远 , 与国际先进清洗技术水平相比还较落后。 一直以来 , 高档次的高洁净度清洗机一直被国外少数几家企业所垄断， 他们通过高洁净度清洗机牢牢控制着 IC 制造业和平板显示器的上游尖端行业。研发高洁净度清洗机不仅可为集成电路产 品和新型显示器件提供可靠配套服务，同时也将带动相关技术研究和产品开发的进 步，有利于提高我国在全球信息化建设中的国际竞争力。 我公司的 DIP 十二工位全自动超声波清洗机正是在此背景下提出并进行开发与研制的。 设备概述： DIP 十二工位全自动超声波清洗机是铬版制作中掩膜抛光后的高精度 清洗设备，在使用碱性溶液清洗剂与中性溶液清洗剂的基础上， 采用中、高