热场和真空对拉晶的影响.docVIP

个人收集整理 仅供参考学习 热场和真空对拉晶的影响 《单晶炉热场和真空稳定性对拉晶的影响》 直拉系统有加热器 、保温系统 支持机构、 三瓣锅等组成 。热系统的高矮、大小、厚簿不同，温度大小就会产生差异。用温度梯度从数量上描述温度 的分布情况。 资料个人收集整理，勿做商业用途 单晶炉热场在拉晶过程中是变化的， 可以理解为静态和动态。 （静态是指刚融完料稳定后引晶的温度分布情况，由加热器、保温罩、坩埚位置和气流导向决定。 动态是指等径后的温度分布情况， 由于熔体的长度增加， 硅液减少，使温度发生 变化。） 资料个人收集整理，勿做商业用途 好的热系统配置能够拉出质量良好的棒子和节省用电， 降低能耗。相反有的热场拉出的是有缺陷的棒子甚至是多晶。 所以现在实际生产中如何调整出良好的热 场是技术人员的基本要求。 资料个人收集整理，勿做商业用途 加热器是整个热系统的重要部件，因此了解加热器的温度分部情况对热场分布很重要。 如图所示 从图中可以看出加热器中部温度最高， 向上和向下逐渐减小， 它的变化率为纵向 温度梯度。加热器径向温度内表面，中心温度最低，靠近加热 器 边缘逐渐变 高，它的变化率为径向梯度。 资料个人收集整理，勿做商业用途 1 / 3 个人收集整理 仅供参考学习 单晶生长中，热场中存在着固液两种形态，所以固态的径纵梯度和液态的径 纵梯度都不同。但是实际拉制中考虑生长界面的温度梯度。