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青岛森泉光电有限公司精密运动促动器绪论精密运动促动器图是用于产生可重复精确精细的线性运动的设备在某些情况下如当耦合到镜座上或在旋转平台上时促动器可以产生角运动图紧凑型电动促动器在许多光子学应用中精密运动促动器是众多常见定位技术的必需的组件这些光子学应用涵盖了采用光谱学和量子计算系统的研发级应用以及衍生的产品级应用如计量学半导体检测光纤校准制造激光微加工和微型装配精密运动促动器可被用于无论是定位应用或调节应用只需根据应用需求的不同采用线性电磁铁或线性压电驱动器这两种驱动方法之一来定位部件定位应用要
青岛森泉光电有限公司
Sources Optics Co.,Ltd.
Newport 精密运动促动器
绪论
精密运动促动器 （图 1 ）是用于产生可重复 ，精确精细的线性运动的设备。
在某些情况下 ，如当耦合到镜座上或在旋转平台上时 ，促动器可以产生角
运动。
图 1. MKS Instruments TRA 紧凑型电动促动器
在许多光子学应用中 ，精密运动促动器是众多常见定位技术的 （必需的 ）
组件。这些光子学应用涵盖了采用光谱学和量子计算系统的研发级应用 ，
以及衍生的产品级应用 ，如计量学、半导体检测、光纤校准、MEMS 制造、
激光
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