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ICS 23.160 J 57 团 体 标 准 T/ZZB 1790—2020 铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备 Sputter equipment for Cu-In-Ga-Se thin film solar cells 2020 - 11 - 06 发布 2020 - 11 - 30 实施 浙江省品牌建设联合会 发 布 T/ZZB 1790—2020 目 次 前言 II  1 范围 1  2 规范性引用文件 1  3 术语和定义 1  4 结构与使用环境 1  5 基本要求 2  6 技术要求 3  7 试验方法 4  8 检验规则 5  9 标志、包装、运输和贮存 5  10 质量承诺 6  I 库七七 提供下载 T/ZZB 1790—2020 前 言 本标准依据GB/T 1.1给出的规则起草。 本标准的某些内容可能涉及专利，本标准的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由浙江省品牌建设联合会提出并归口管理。 本标准由浙江方正轻纺机械检测中心有限公司牵头组织制定。 本标准主要起草单位：浙江上方电子装备有限公司。 本标准参与起草单位（排名不分）：浙江方正轻纺机械检测中心有限公司、慈溪市长信真空设备厂 （普通合伙）。 本标准主要起草人：来华杭、周海龙、蔡好、袁海萍、洪东、陈敏、虞跃华、王晨、姚亮。 本标准评审专家组长：蒋建平。 本标准由浙江方正轻纺机械检测中心有限公司负责解释。 II 库七七 提供下载 T/ZZB 1790—2020 铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备 1 范围 本文件规定了铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备的术语和定义、结构与使用环境、基本要求、 技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。 本文件适用于铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备（以下简称“设备”）。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 3077 合金结构钢 GB/T 3136 真空技术 术语 GB/T 5226.1—2019 机械电气安全 机械电气设备 第1部分：通用技术条件 GB/T 9969.1 工业产品使用说明书编写规则 GB/T 13306 标牌 GB/T 13384 机电产品包装通用技术条件 GB/T 17248.3 声学 机器和设备发射的噪声 采用近似环境修正测定工作位置和其他指定位置 的发射声压级 GB/T 18680 液晶显示器用氧化铟锡透明导电玻璃 JB/T 8945 真空溅射镀膜设备 3 术语和定义 GB/T 3136界定的术语和定义适用于本文件。 4 结构与使用环境 4.1 结构组成 设备由进片单元、磁控溅射镀膜系统（PVD）、出片单元及