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ICS 31.030
L90
DB1310
市 巳 由 万 、
T E
廊 坊 , 目 标 准
DB 131 O/T 227-2020
电子专用材料单晶硅生长用石英柑桐工艺
技术规范
2020 - 10- 16 发布 2020 - 11 - 16 实施
发布
廊坊市市场监督管理局
D81310/T 227--2020
目IJ 1=1
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由大厂回族自治县市场监督管理局提出。
本标准起草单位:廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司。
本标准主要起草人:贾建亮、黄永恩、贾建恩、孙艳、关海华、李继东。
I
D81310/T 227--2020
电子专用材料单晶硅生长用石英柑塌工艺技术规范
1 范围
本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英咱塌的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工
艺过程、环境要求和管理要求。
本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英咱蜗工艺技术。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的寻|用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 8978 污水综合排放标准
GB 12348 工业企业厂界环境噪声排放标准
GB 16297 大气污染物综合排放标准
GB 18597 危险废物贮存污染控制标准
GB 18599 一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准
GB 50034 建筑照明设计标准
GB 50073 洁净厂房设计规范
GBZ 2. 1 工作场所有害因素职业接触限值(第一部分化学有害因素)
GBZ 188 职业健康监护技术规范
GBZ! T 189. 8 工作场所物理因素测量第8部分:噪声
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3. 1
电弧熔市IJ arc fus i on
利用高温电弧熔融石英砂原料的过程
3. 2
涂层 coating
在石英士甘士国内壁或外壁涂覆特种材料的过程。
4 从业人员
4.1 职业健康
D81310/T 227--2020
应按照GBZ 188 的要求,对从业人员进行岗前、岗中、离岗职业健康体检,同时配备符合要求的个
体防护用品,保证从业人员符合职业健康安全管理要求。
4. 2 岗{立技能
从业人员应通过三级安全教育、岗位技能培训,经考核合格后方可上岗O
5 设备
5. 1 熔制设备
应具有电极开闭、升降、旋转、冷却、弧变、除尘等装置。
5. 2 外表面处理设备
应具有喷砂、研磨等功能。
5.3 切边倒棱设备
应具有对中、切制、内倒
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