激光干涉仪线性测量操作规程.pdfVIP

激光干涉仪线性测量操作规程 一、 本规程适用范围： 适用于专职从事激光干涉仪的测量工作。 二、作业前的准备： 1、 熟悉激光干涉仪的正确操作步骤。 2、 检查激光干涉仪机箱中的各个部件、相关配套装置和所需 工具是否齐全。 3、 检查供给电源是否为 220v，防止缺项、短路的情况发生。 4、 测量前，必须先将机床的参数数据等备份，最好能在硬盘 上备份一份，在移动设备上备用一份，以防丢失。严禁对未备份的 机床进行补偿。 二、 操作规程： 1、 三脚架安装： 将三脚架（见图一）从箱中取出，三条支撑腿撑开，中间一节拉出、 旋紧，放在被测元素前方平整位置，如地面不平，将地面进行处理；如 果地面很光滑，则需要用粗糙的麻布垫在三脚架的下面。用钥匙打开 仪器箱，从机箱中取出云台自锁螺母旋到三脚架上。 图一：三脚架 2、XL-80 激光头的安装、调整： ①、用右手拇指与其余四指分开，正确抓住 XL-80 激光头（见图 二），左手配合将激光头和云台从机箱中取出，左手将云台下方自锁 手柄推到松开位置后，置于三脚架的云台（见图三）自锁螺母上，慢慢 转 激光头，使自锁手柄与云台自锁螺母正确结合，锁紧手柄自锁。要 求：激光头射出的光束应与被测元素相对运 方向平行或一致。 图二：XL-80 激光头 图三：云台 ③、释放云台所有旋紧螺钉，使云台各方向行程处于中间位 置，锁紧。 ③、从机箱中拿出微型水平仪（见图四），置于激光头中间位置， 通过三脚架调节激光头的整体水平。 图四:微水平仪 5、 预热激光头： 从机箱中取出激光头电源线和一条XL-XC USB 电缆组件数据线， 将其正确插入相应接口， 电源插头插入 电源，数据线另一端口插入电 脑 USB 接口。打开 电源开关，激光头进入预热状态。将激光头的光闸 旋转到找正光源状态位置。激光头发射出激光束，但此时的激光束是 频闪不稳定状态。 6、 安装补偿单元： ①、 从箱中取出强磁力吸盘（见图五），将其安装在被测元 素固定部位处（安装时注意安全，防止吸盘磁力夹手）。 图五：强磁力吸盘 ②、 取出材料温度传感器（M）（见图六）和空气温度传感 器（A）（见图七） 图六：材料温度传感器 图七：空气温度传感器 ③、 将材料温度传感器（M）带有传感器一端通过永磁体 固定到被测元素的被测材料上，另一端接口通过 XC-80 补偿 器（见图八）的第二、第三或第四个接口与 XC-80 补偿器相连接， 接口插孔一定要正确对正再慢慢旋入。 图八：补偿器和两个温度传感器 ④、 将空气温度传感器（A）带有传感器一端通过永磁体 固定到被测元素固定表面上，另一端接口与 XC-80 补偿器的 第一个接口（标志为☌）相连接，接口插孔一定要正确对正再慢 慢旋入。 ⑤、 XC-80 补偿器正确卡入在强磁力吸盘上 ⑥、 取出另一条 XL-XC USB 电缆组件数据线（见图九） 正确连接到 XC-80 补偿器和 电脑USB 接口上。 电缆组件数据 线 图九：电缆组件数据线 7、 安装光学镜组件： ①、从箱中取出两块永磁体座（见图十）和三个连接杆（见图十一）， 将连接杆分成两组分别旋在两块永磁体座上，用加力杆旋紧，备用。 图十：永磁体座 图十一：连接杆 ② 、将一永磁体座固定在被测元素相对主体运 部分的适合位 置上，另一永磁体座固定在被测元素相对主体静止部分的适合位置上。 要求：相对主体运 部件永磁体