传感器与检测技术 任务二：湿度传感器 2常见的湿度传感器.pptVIP

湿度传感器 常见的湿度传感器 二、 湿度传感器种类繁多，有多种分类方式。 （1）湿度传感器按元件输出的电学量可分为电阻式、电容式、频率式等。 （2）湿度传感器按其探测功能可分为相对湿度、绝对湿度、结露和多功能式等。 （3）湿度传感器按材料可分为陶瓷式、有机高分子式、半导体式、电解质式等。 湿度传感器 另外，根据与水分子亲和力是否有关，可以将湿度传感器分为水分子亲和力型湿度传感器和非水分子亲和力型湿度传感器。水分子易于吸附在固体表面并渗透到固体内部的这种特性称为水分子亲和力。水分子附着或浸入湿敏功能材料后，不仅有物理吸附，而且有化学吸附，其结果是使功能材料的电性能产生变化，如使LiCl、ZnO材料的阻抗发生变化。因此，这些材料就可以制成湿敏元件，另外，利用某些材料与水分子接触的物理效应也可以测量湿度。 湿度传感器 在现代工业中使用的湿度传感器大多是水分子亲和力型湿度传感器，它们将湿度的变化转化为阻抗或电容的变化后输出。但是，水分子亲和力型湿度传感器的缺点是响应速度慢，而且可靠性较差，不能很好地满足使用的需要，这种现状迫使人们开始研究与水分子亲和力无关的湿敏元件。例如，利用水蒸气能吸收特定波长红外线的吸收式湿度传感器；利用微波在含水蒸气的空气中传播时，水蒸气吸收微波使其产生一定损耗制成的微波湿度传感器；等等。开发非水分子亲和力型传感器是湿度传感器的重要研究方向，因为它能克服水分子亲和力型湿度传感器的缺点。 下面介绍几种常见的湿度传感器。 湿度传感器 氯化锂湿度传感器 1. 氯化锂（LiCl）湿敏电阻是利用吸湿性盐类潮解后离子导电率发生变化而制成的湿敏元件。在条状绝缘基片的两面，分别用化学沉积或真空蒸发的方法做上电极，再浸渍一定配方的氯化锂聚乙烯醇混合溶液，经一定时间的老化处理，即可制成湿敏电阻器，如图7-23所示。 图7-23 氯化锂湿敏电阻 湿度传感器 氯化锂是典型的离子晶体。高浓度的氯化锂溶液中，氯和锂仍以正、负离子的形式存在，而Li+对水分子的吸引力强，离子水合程度高，其溶液中的离子导电能力与浓度成正比。当溶液置于一定湿度的环境中时，若环境的相对湿度高，溶液将因吸收水分而浓度降低，电阻率增高；相反，环境的相对湿度低，则溶液的浓度升高，其电阻率下降。因此，氯化锂湿敏电阻的阻值将随环境湿度的改变而变化，从而实现对湿度的电测量。 湿度传感器 氯化锂浓度不同的湿度传感器，适用于不同的相对湿度范围。浓度低的氯化锂湿度传感器对高湿度敏感，浓度高的氯化锂湿度传感器对低湿度敏感。一般单片湿度传感器的敏感范围仅在30%RH左右，为了扩大湿度测量的线性范围，可以将多个氯化锂含量不同的湿度传感器组合使用，如将(10%～20%)RH、(20%～40%)RH、(40%～70%)RH、(70%～90%)RH、(90%～99%)RH的五种元件配合使用，可以实现整个湿度范围的湿度测量。 湿度传感器 氯化锂湿敏元件的优点是滞后小，不受测试环境风速的影响，检测精度一般可达到±5%。但是单片氯化锂湿度传感器测湿范围窄，而多片组合体积大，成本高，不抗污染，怕结露，耐热性差，难于在高湿和低湿的环境中使用，工作温度不高，寿命短，响应时间较慢，必须使用交流电源，以避免出现极化。 湿度传感器 氯化锂湿度传感器具有稳定性、耐温性和使用寿命长等多项重要的优点。氯化锂湿敏元件属于电解质感湿性材料，是利用电解质溶解于水中降低水面上的水蒸气压的原理而实现感湿的。氯化锂湿度传感器特有的长期稳定性是其他感湿材料不可替代的，也是湿度传感器最重要的性能。感湿混合液的配制和工艺上的严格控制是保持和发挥这一特性的关键。 湿度传感器 半导体陶瓷湿度传感器 2. 随着科学技术的发展，要求在高温下测量湿度的场合越来越多，如水泥、金属冶炼、食品加工等涉及工艺条件和质量控制的许多工业过程的湿度测量与控制。自20世纪60年代起，许多国家开始竞相研制适用于高温条件下测量的湿度传感器。考虑到传感器的使用条件，人们很自然地把探索方向着眼于既具有吸水性又能耐高温的某些无机物上。实践已经证明，陶瓷元件不仅具有湿敏特性，而且可以作为感温元件和气敏元件，这些特性使它极有可能成为一种有发展前途的多功能传感器。 湿度传感器 半导体陶瓷湿敏电阻是一种电阻型传感器，根据微粒堆集体或多孔状陶瓷体的感湿材料吸附水分可使电导率改变这一原理检测湿度。由于它具有使用寿命长、可在恶劣条件下工作、响应时间短、测量精度高、测温范围宽（常温湿度传感器的工作温度在150 ℃以下，高温湿度传感器的工作温度可达800 ℃）、工艺简单、成本低廉等优点，是目前应用较为广泛的湿度传感器。 半导体陶瓷湿敏电阻按其结构可以分为烧结型、涂覆膜型和薄膜型三类。 湿度传感器 （1）烧结型半导体陶