磁控溅射原理.pdfVIP

1 磁 控 溅 射 原 理 815 －TCO 让不可能成为可能 2 Ø磁控溅射原理 Ø直流辉光放电 • 右图为直流辉光放电的发光区电位分布 及净空间电荷沿极间距的分布图 • 靠近阴极有一明亮的发光区，称为阴极 辉光区 • 电子在阴极暗区发生大量的电离碰撞， 正离子被加速射向阴极 但是正离子的 迁移率远低于电子的迁移率，净空间电 荷呈正值，在阴极表面附近形成一个正 离子壳层 • 阴极暗区是气体辉光放电的最基本组 成 部分 • 在负辉光区