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内部水汽含量实验作业指导书范文 目的 本试验的目的是测定在金属或陶瓷封装器件内部气体中的水 汽含量。它可以是破坏性试 验 （程序 1 和 2）;也可以是非破坏性试验 （程序 3）。 设备 根据所选择的不同程序，本试验所需设备如下 : 程序 1 所用设备 程序1是用质谱仪测量器件内部的水汽含量。所需设备如下 ：a.—台 质谱仪，它能对给定的封装再现地检测出规定的水汽含量， 其灵敏度 安全裕量为 10 倍。 质谱仪的校准是在规定水汽允许范围 （偏差为± 20%）下，利用一个封 装模拟器来完成的。该模拟器 利用对已知水汽含量（偏差为士 10%）的 体积连续取样排气， 且能重复性地产生至少三种已知的气