MEMS传感器现状及发展前景.docxVIP

. 毕 业 设 计 指 导 课 论 文 . . MEMS 传感器的现状及发展前景 摘要： MEMS 传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器 ,具有很多新的特性 ,相 对传统传感器其具有更大的优势。在追求微型化的当代 ,其具有良好的发展前景 ,必将受 到各个国家越来越多的重视。文章首先介绍了 MEMS 传感器的分类和典型应用 ,然后着 重对几个传感器进行了介绍 ,最后对 MEMS 传感器的发展趋势与发展前景进行了分析。 关键词： MEMS 传感器 ; 加度计 ; 陀螺仪 ; 纳米技术 ; 微机构 ; 微传感器 Word 专业资料 . Word 专业资料 . Status and Development Prospect of MEMS Sensors Abstract: MEMS sensor is a new type of sensor with the development of nanotechnology. It has many new features, which has a great advantage over traditional sensors. In the pursuit of miniaturization of the contemporary, its good prospects for development, will be subject to more and more attention in various countries. Firstly, the classification and typical application of MEMS sensor are introduced. Then, several sensors are introduced. Finally, the development trend and development prospect of MEMS sensor are analyzed. Key words: MEMS sensor; accelerometer; gyroscope; nanotechnology; micro-mechanism; micro-sensor Word 专业资料 . Word 专业资料 . 目录 一、引言 7 二、背景 9 1.MEMS 技术的发展 9 1.1MMES 技术发展的浪潮 9 2. 目前已有的 MEMS 传感器 10 2.1MEMS 加速度计 10 2.2 微压力传感器 12 2.3MEMS 陀螺 13 2.4 微气体传感器 13 三、结语 16 参考文献 18 Word 专业资料 . Word 专业资料 . 一、引言 MEMS 传感器是采用微机械加工技术制造的新型传感器 ,是 MEMS 器件的一个重要 分支。 1962 年 ,第一个硅微型压力传感器的问世开创了 MEMS 技术的先河 , MEMS 技术 的进步和发展促进了传感器性能的提升。 作为 MEMS 最重要的组成部分 , MEMS 传感器 发展最快 ,一直受到各发达国家的广泛重视。美、日、英、俄等世界大国将 MEMS 传感 器技术作为战略性的研究领域之一 ,纷纷制定发展计划并投入巨资进行专项研究。 随着微电子技术、集成电路技术和加工工艺的发展 , MEMS 传感器凭借体积小、重 量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成以及耐恶劣工作环境等优势 ,极大地促进 了传感器的微型化、智能化、多功能化和网络化发展。 MEMS 传感器正逐步占据传感器 市场 ,并逐渐取代传统机械传感器的主导地位 , 已得到消费电子产品、汽车工业、航空航 天、机械、化工及医药等各领域的青睐。 本文首先介绍了 MEMS 传感器的产品分类和典型应用。其次 ,从类别、工艺技术、 性能指标、新型材料、最新产品及应用等方面详细阐述了 MEMS 压力传感器、加速度 计和陀螺仪的研究现状。最后 ,对 MEMS 传感器发展趋势进行了展望。 Word 专业资料 . Word 专业资料 . 二、背景 广义上讲 ,MEMS 是指可批量制作的 ,集微机构、微传感器、微执行器以及信号处理 及控制电路 ,乃至通信和电源于一体的微型器件或机电系统。 1.MEMS 技术的发展 1824 年 ,硅的发现为微电子技术和 MEMS 技术的发展奠定了材料基础。 1954 年 , 发现了压阻效应 ,为微型压力传感器的研制奠定了理论基础。 1967 年提出了表面牺牲层 工艺技术 ,并在此基础上制备出了具有高谐振频率的悬臂梁结构。 1970 年 ,美国 Kuliet 公司展示了第一款硅加速度计。 1982 年 ,德国提出一种以高深宽比结构为特色的 LIGA 工艺