T∕CCGA 30004-2019 电子级八氟环丁烷.docxVIP

ICS 71.100.20 G 86 团 体 标 准 T/CCGA 30004—2019 电子级八氟环丁烷 电子级八氟环丁烷 Electronic grade perfluorocyclobutane 2019-10-29 发布 2020-01-29 实施 中国工业气体工业协会 发 布 T/CCGA 30004 T/CCGA 30004—2019 T/CCGA 30004 T/CCGA 30004—2019 I I II II 目 次 前言 II 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 技术要求 1 4 试验方法 2 5 标志、包装、贮运及安全 4 前 言 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。本标准由中国工业气体工业协会提出并归口。 本标准起草单位：苏州金宏气体股份有限公司、中国工业气体工业协会。 本标准主要起草人： 金向华、许军州、洑春干、周宝军、魏入铎、庄坤华、宋芳芳。 T/CCGA 30004 T/CCGA 30004—2019 T/CCGA 30004 T/CCGA 30004—2019 PAGE PAGE 1 PAGE PAGE 2 电子级八氟环丁烷 范围 本标准规定了电子级八氟环丁烷产品的分类和型号，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于工业八氟环丁烷通过吸附纯化、精馏提纯生产的电子级八氟环丁烷产品。该产品是电子行业蚀刻气体。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则GB/T 5099 钢质无缝气瓶 GB/T 6678 化工产品采样总则GB/T 6680 液体化工产品采样通则GB/T 6681 气体化工产品采样通则GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 9722 化学试剂 气相色谱法通则GB/T 11640 铝合金无缝气瓶 GB/T 13004 钢质无缝气瓶定期检验与评定GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定 GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB/T 16483 化学品安全技术说明书 内容和项目顺序GB/T 16804 气瓶警示标签 JT/T 617 危险货物道路运输规则气瓶安全技术监察规程 技术要求 电子级八氟环丁烷产品的质量应符合表1的要求。 表1 电子级八氟环丁烷产品技术指标 项目 指标 -2 八氟环丁烷（C4F8）纯度（体积分数）/10 ≥ 99.999 99.9995 -6 氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10 ＜ 1.0 0.5 -6 氮 （N2） 含 量 （ 体 积 分 数 ）/10 ＜ 2.0 1.0 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 ＜ 0.5 0.5 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10 ＜ -6 0.5 0.5 表 1（续） 烃 （C1～C5） 含 量 （ 体 积 分 数 ）/10 ＜ -6 1.0 0.5 -6 其他碳氟化合物含量（CF4/C3F6）（体积分数）/10 ＜ 1.0 0.5 酸度（以 HF 计）含量（质量分数）/10-6 ＜ 0.5 0.1 -6 水分(H2O) 含量（体积分数）/10 ＜ 3.0 1.0 总 杂 质 含 量 （ 体 积 分 数 ）/10-6 ≤ 10.0 5.0 试验方法 抽样、判定和复验 表 1 中所有要求应逐一检验并验收，当检验结果有任何一项指标不符合表 1 的技术要求时，则判该产品不合格。 八氟环丁烷采样安全应符合 GB/T 3723 的规定。 八氟环丁烷的纯度 产品纯度按式（1）计算： 1 2 3 4 5 6 7 8Φ =100-（Φ +Φ +Φ +Φ +Φ +Φ +Φ +Φ ）×10-4 1 2 3 4 5 6 7 8 式中： Φ ——八氟环丁烷纯度（体积分数），10-2； 1Φ ——氧含量（体积分数），10-6； 1 2Φ ——氮含量（体积分数），10-6； 2 3Φ ——一氧化碳含量（体积分数），10-6； 3 4Φ ——二氧化碳含量（体积分数），10-6； 4 5 1 5Φ ——烃（C ～C ）含量（体积分数），10 5 1 5 6Φ ——酸度含量（体积分数），10-6； 6 7Φ ——水分含量（体积分数），10-6； 7 8Φ ——其他碳氟化合物含量（体积分数），10-6。 8 氧（氩）、氮、