材料科学研究方法课件-5深大第五章 电子显微基础－电子与物质相互作用.pdf

材料科学研究方法 ——第五章电子显微分析基础 （电子与物质的相互作用） 熊信柏 深圳大学 1 5.1. 物质对入射电子的散射  散射定义：当一束聚焦电子沿一定方向射到样品 上时，在样品物质原子的库仑电场作用下，入射 电子方向将发生改变，称为散射。  1. 散射类型  ①弹性散射改变轨道，能量不变  ②非弹性散射改变轨道，能量改变 2 5.1.1 原子核对电子的弹性散射  当入射电子从距原子核r n 处经过时，由于原子核的正电荷的吸引作 用，入射电子偏离入射方向。此即原子核对电子的弹性散射  电子波通过原子不改变波矢长度(能量大小)，但可能改变波矢方向 （散射） 3 散射角θ 与瞄准距离r 、核电荷数Z 及入射电子的能 n n 量E 0之间的关系为： 可见，原子序数越大，电子能量越小，距核越近，则散 射角越大。  除原子核对电子的散射外，核外电子带负电荷，对原子核的 弹性散射有屏蔽作用。  特点：由于原子对电子的散射比对X 射线的散射强得多，因 此，电子在物质内部的穿透深度要比X 射线小得多。  作用：原子核对电子的弹性散射是电子衍射及成像的基础。 4 5.1.1 原子核对电子的非弹性散射  电子波通过原子不但改变波矢长度(能量 大小)，还可能改变波矢方向（散射） 5 5.1.2 原子核对电子的非弹性散射  结果：非弹性散射发生后，电子运动方向改变，能 量也有不同程度的损失，损失的能量△E 转化为相 应的X 射线的能量： ΔE = hγ = hc /λ  可见，能量损失越大，X 射线的波长越短。  不利影响：产生的X 射线是连续的无特征波长的X 射线，不能反映样品结构或成分特征，反而产生背 景信号，影响成分分析的灵敏度和准确度，对X 射 线衍射不利。  作用：连续X 射线谱的强度数据可用于分析颗粒样 品和粗糙表面样品的绝对浓度。 6 5.1.3 核外电子对入射电子的散射 （1）散射时入射电子所损失的能量部分转变为热； （2）部分使物质中的原子发生电离或形成自由载流子； （3）并伴随着产生二次电子、俄歇电子、特征X 射线、特征能 量损失电子、阴极发光和电子感生电导等有用信息  不利影响：在电子衍射及透射电镜成像中引起色差 而增加背景强度及降低图像衬度。  作用：产生的电离、阴极发光及电子云的集体振荡 等物理效应，可以反映样品的形貌、结构及成分特 征，是各种电子显微分析仪器的重要信息来源。 7 5.2高能电子与样品物质交互作用产生 的电子信息  5.2.1 二次电子  5.2.1.1基本概念： 电离和二次电子：入射电子与核外电子发生相互作用时，使 原子失去电子而变成离子，这种过