传感器与检测技术-第四章-电容传感器.ppt

（1）初态时：两传感器电容C1=C2=C，此时电桥空载输出，即电桥处于平衡状态。 （2）工作时 ： 工作时传感器两电容值发生等值反向变化，电桥失去平衡；且电容变化量ΔC越大，不平衡电桥输出电压Uo也越大，两者亦呈线性关系。 二、运算放大器测量电路 C0为固定电容，Cx为传感器电容，R1和R2为平衡电阻，Rw为调零电位器 。（系统是一个带运放的测量电桥） 显然这种测量电路最适合变极间距离型电容传感器，此时不但电路结构简单，而且可以获得很好的线性输出。 虽然实际运算放大器会引入非线性误差，但是当运放输入阻抗和放大倍数足够大，这种误差非常小，不影响测量精度。 解得 三、电容调频电路 调频电路是将电容式传感器作为LC振荡器谐振回路的一部分，或作为晶体谐振器中的石英晶体的负载电容。当电容传感器工作时，被测量导致电容量发生变化，使振荡器的频率发生相应的变化，这样实现了C/F的变换，故称为调频电路。电容C与振荡频率f的关系式为。 振荡器输出的信号是一个受被测量调制的调频波。 当被测信号为0时，电容变化量△C=0。振荡器有一个固有振荡频率f0 当被测信号不为0时，电容变化量 。即 振荡频率随电容变化量的增加而减小。 四、差动脉冲调宽电路 差动脉冲调宽电路利用对传感器电容的充放电使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化。其基本出发点时构成一个频率稳定的方波发生器，以电容变化来调节占空比，由此引起平均直流分量的变化。 图为差动电容传感器脉冲调宽电路原理图。 参考电压 电压比较器 电容C1快速放 电回路二极管 电容C1充电 通道电阻 差动电容 传感器 C1充放电回 路电压检测点 触发器Q与/Q输 出逻辑互斥 V1与C1、V2与C2组成电容的快速放电回路，由于V的等效电阻很小，放电时间很短。 R1与C1、R2与C2组成电容的充电回路，充电时间常数由RC决定。 C1与C2组成差动电容检测电路，变化极性相反，C1=C2时，电路充放电时间相同，输出平衡。当 电路充放电时间不同。 基本RS触发器 初态时，设闭合电源后A为高电平，B为低电平，即RS触发器进入稳态1（Q=1）；此时触发器S=1,R=1，Q=1。C1充电，M点电位上升，当Um>Uf时，比较器A1输出S=0和A2输出R=1，触发器进入稳态0（Q=0）；A为低电平，B为高电平，C2开始充电，C1开始放电，N点电位上升，当Un>Uf时，比较器A2输出R=0，当Um<Uf使A1输出S=1，触发器进入稳态1。此后触发器不断的进行状态翻转，当C1=C2，电容的充放电时间周期相等，如图所示： 设初态 若工作态 T1和T2电容的充放电时间 A、B两点的电压 触发器输出电压幅度 Uo为输出电压 （1）变d型 对于变d型差动电容传感器，传感电容的大小与极间距离d成反比，即对应于C1=C+ΔC，C2=C－ΔC，此时d1=d－Δd，d2=d+Δd。此时差动输出电压平均值可改写为 （2）变S型 对于变S型差动电容传感器，传感电容的大小与极板的有效面积S成正比，即对应于C1=C+ΔC，C2=C－ΔC时，S1=S+ΔS，S2=S－ΔS，此时差动输出电压平均值可改写为 由上分析可知，无论是变d还是变S差动电容传感器，差动脉冲调宽电路的输出电压与变化量 ΔC（Δd或ΔS） 之间有对应的线性关系，而与频率变化无关，且对输出矩形波精度要求不高。 第三节 电容式传感器的误差分析 电容传感器的特点不但与组成电容传感器的材料性质和结构尺寸有关，还与电容传感器的正确应用有关。 误差分析 电容传感器作为高精度测量装置，一般变化量为几个pF或者几十pF某些因素也可引入的测量误差，如温度、边缘效应和寄生电容等 一、温度影响 温度对结构尺寸的影响 温度主要影响传感器的结构尺寸。当温度上升时，电容器极板的面积将增大，极板的厚度增加，导致极间距离减小，使电容量增加。 补偿措施： 选择温度系数小的金属材料作电容器极板；采用差动结构。 温度对介质介电常数的影响 电容器极板间的介质应选择介电常数较稳定的材料，如空气和云母。而硅油煤油等介质均受温度的影响。 温度对电容极板的绝缘特性有影响 电容传感器的容抗很高，当激励频率较低时，极板间支架绝缘电阻随温度的升高而降低，其漏电流会增大，影响电容传感器的灵敏度下降。所以支撑架常采用陶瓷和石英等高绝缘电阻，低吸湿性的材料。 二、电容电场的边缘效应 电容极板周边的极间电场分布不均匀，称之为边缘效应。此边缘效应使电容传感器测量精度下降、非线性上升，增加极板面积和减小极间距离可以减小边缘效应的影响。当测量精度要