四、技术参数响应表.pdfVIP

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2021-01-26 发布于未知
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四、技术参数响应表设备序（服品单数型号技术参数技术参数响应情况偏离说明号务）名牌位量称（一）电镜主机技术规格（一）电镜主机技术规格（1）电子光学系统：（1）电子光学系统：无偏离 *1.1 分辨率：SE 分辨率≤0.7nm@15kV;0.9nm@1kV； *1.1 分辨率：SE 分辨率≤0.7nm@15kV;0.9nm@1kV；详见场发资料第 42 页射扫 1.2 加速电压：0.01-30kV； 1.2 加速电压：0.01-30kV；无偏离描电 1.3 放大倍数：≥200 万倍（底片模式）； 1.3 放大倍数：≥200 万倍（底片模式）；无偏离子显日 Regulus 1.4 电子枪：场发射电子枪，灯丝2 根并且保证性能使 1.4 电子枪：场发射电子枪，灯丝2 根并且保证性能使用无偏离 1 用 10 年；套 1 10 年；微镜立 8220 1.5 电子束流：≥20nA，且连续可变； 1.5 电子束流：≥20nA，且连续可变；正偏离系统 1.6 自动功能：对中、聚焦、像散，同时带有调节； 1.6 自动功能：对中、聚焦、像散，同时带有调节；无偏离（进 1.7 物镜光栏：内置加热自清洁装置,四孔,可移动物镜 1.7 物镜光栏：内置加热自清洁装置,四孔,可移动物镜光无偏离光栏；栏；口） 1.8 工作距离：1.5-30mm； 1.8 工作距离：1.5-30mm；无偏离 1.9 电位移：12um (WD=8mm)； 1.9 电位移：12um (WD=8mm)；无偏离 1.10 透镜系统：3 级电磁透镜系统； 1.10 透