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单电容式及差分电容式 MEMS 传感器检测系统 关键词：电容 传感器 检测 摘要：本文介绍了单电容式及差分电容式 MEMS 传感器检测系统 电容式传感器工作原理 电容式传感器分单电容式和差分电容式二种。如图 1 所示。 图 1 单电容式和差分电容式传感器 (a) 单电容传感器 (b) 差分电容传感器 图 1(a)为两平行板组成的电容器，图 1(b)为两平行板中间插入极板组成的差分电容传 感。对图 1(a)而言，当忽略电容器的边界效应时： 电容器的电容量为： 式中 A 为电容器的极板面积，d 为极板的距离，er、e0 为介电常数。 电容传感器中的变间隙式电容传感器的 C-d 特性如图 2 所示。 图 2 变间隙式电容传感器的 C-d 特性曲线图 单电容传感器的一个极板固定，称为静极板，另一极板与被测物体连接为动极板。差分 电容传感器的上下极板均固定，称为静极板，中间极板为动极板。当被测物体移动时动极板 跟随移动，就改变了极板间的电容量 C，可知 C-d 特性是一条曲线： 当 d0 减小 Dd 时，且Δd d0 (1) 由(1)式可得：