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第三节　电容式传感器 电容式传感器是将被测量（如尺寸、压力等）的变化转换成电容变化量的一种传感器。实际上,它本身（或和被测物）就是一个可变电容器。 完成本节内容的学习后应能做到： 1.掌握电容式传感器工作原理? 2.掌握电容式传感器的分类、及它们各自的特点 3.了解电容式传感器的测量电路 一、电容式传感器变换原理 。以最简单的平行极板电容器为例说明其工作原理。在忽略边缘效应的情况下，平板电容器的电容量为： 式中　 ——真空介电常数， =8.85×10-12（F/m）； ——极板间介质的相对介电常数，空气介质 =1； ——极板相互遮盖的面积(m2)； ——极板距离(m)。 上式表明，当被测量δ、A或ε发生变化时，都会引起电容的变化。如果保持其中的两个参数不变，而仅改变另一个参数，就可把该参数的变化变换为单一电容量的变化，再通过配套的测量电路，将电容的变化转换为电信号输出。根据电容器参数变化的特性，电容式传感器可分为极距变化型、面积变化型和介质变化型三种，其中极距变化型和面积变化型应用较广。 （一）极距变化型电容传感器 如果两极板相互覆盖面积及极间介质不变，则当两极板在被测对象作用下发生位移变化时所引起的电容量变化为： 由此可得到传感器的灵敏度为： 从上式可看出，灵敏度K与极距平方成反比，极距愈小，灵敏度愈高。一般通过减小初始极距来提高灵敏度。由于电容