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-- 毕 业 设 计 指 导 课 论 文 MEMS传感器的现状及发展前景 摘要： MEMS传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感 器 , 具有很多新的特性 , 相对传统传感器其具有更大的优势。 在追求微型化的当代 , 其具有良好的发展前景 , 必将受到各 个国家越来越多的重视。文章首先介绍了 MEMS传感器的分 类和典型应用 , 然后着重对几个传感器进行了介绍 , 最后对 MEMS传感器的发展趋势与发展前景进行了分析。 关键词： MEMS传感器 ; 加度计 ; 陀螺仪 ; 纳米技术 ; 微机构 ; 微传感器