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2008 年 6 月 郧阳师范高等专科学校学报 Jun . 2008 第 28 卷第 3 期 Journal of Y unyang T eachers Co llege V ol. 28 No . 3 迈克尔逊干涉仪测量薄膜的折射率与厚度 杨修文, 石义杰, 路素彦 郧阳师范高等专科学校 ! 物理系, 湖北 丹江口 442700) ! [ 摘! 要] 用迈克尔逊干涉仪测量薄膜折射率与厚度的方法, 原理简单. 通过测出动镜的移动量及观察相应的干涉条纹变化现象, 就能计算薄膜的厚度, 有较高的测量精度. 并基于此装置进行实际测量, 理论和实际 相符的较好. ! ! [ 关键词] 迈克尔逊干涉仪; 薄膜厚度; 干涉条纹 ! ! [ 中图分类号] O436. 1! ! ! [ 文献标识码] A ! ! ! 1 ! 引言 迈克尔逊干涉仪是一种较为精密的测量仪器, 不少文献都有介绍用它测量气体、固体折射率的方法[1~ 6] . 现在我们介绍一种钠光作光源, 用迈克逊干涉仪测量薄膜厚度, 其测量原理、方法简单. 2 ! 测量装置及原理[ 7] 测量装置如图 1 所示. 在钠光灯 S 前加一块毛玻璃使之形成面光源, 通过一准直透镜发出平行光照射迈克尔逊干涉仪, 调节两个平面镜 M 1、M 2 , 使观察屏上出现明暗相间的圆形干涉条纹. 图 1 实验光路图 由于钠光源中包含有波长相近的两种波长 1 、 2 , 当动镜 M 1 缓慢移动时, 观察屏中的条纹依次由清晰变模糊,再由模糊变清晰, 条纹最模糊时, 可见度最小, 此时 1 光波生成亮环的地方, 恰好是 2 光波生成暗环的地方, 即:  [ 文章编号] 1008? 6072( 2008) 03 ? 0026 ? 02 2dcosik = 2d = k1 1 = ( k 2 + 1/ 2) 2 ( 1) M 1臂中垂直插入一折射率为 n、厚度为 h 的透明薄膜 A , 取空气的折射率为 1, M 1 臂中增加的光程差 为: = 2h( n- 1) ( 2) 1) 式不再满足, 条纹可见度最小的现象被破坏, 继续沿原方向移动 M 1 动镜 d 距离, 使再次出现可见度最 , 则 2h( n- 1) = 2 d h= d/ ( n- 1) ( 3) 测出 d, 知道 n, 就可计算出 h 值. 须注意的是, 要使薄膜所增加的光程不超过在未插入 薄膜的情况下相续两次出现可见度最小, 即 M 1 动镜移动 的距离 D 的两倍. 因此 2h( n- 1) 2 D 得! h D/ ( n- 1) ( 4) 对于波长分别为 1 和 2 的两列光波, 由于它们的波 长不同, 是互不干涉的, 总的干涉场是 1 和 2 分别形成的 干涉场的线性迭加. 随 M 1 动镜的移动, 迭加形成拍[8] . 拍 频 为: = 1 = 1 - 1 ( 5) 1 2 由于 1 # 2, 在干涉场中它们的同级条纹不出现在同 一位置上. 随着光程差的增加, 干涉条纹是从完全重合变到连成一片, 又变到完全重合. 而两次重合所对应的空间距离, 正是拍频的波长 . 对钠光源, 由( 5) 式知: = 0. 5788mm, D = / 2= 0. 2894mm. 若薄膜的折射率为 1. 47, 则 h D/ ( n - 1) = 0. [ 收稿日期] 2008- 03- 28 基金项目] 湖北省教学研究资助项目( 2003298) [ 作者简介] 杨修文( 1966- ) , 男, 郧阳师范高等专科学校物理系副教授, 主要从事光电子、光纤通信及传感器方面的研究. YYSZX B 26 杨修文, 石义杰, 路素彦: 迈克尔逊干涉仪测量薄膜的折射率与厚度 616mm, 即用本方法测量其厚度, 其厚度不应超过 0. 长) , 就无法测量; 最小可见度位置判断不准确也会引入较 616mm, 这个厚度对薄膜而言足够了. 大的误差. 虽然本方法有不足之处, 但它简单易行, 测量 若测某一平面平行玻璃, 其厚度不满足( 4) 式, 可先用 快, 作为测量薄膜厚度的一种手段更为有效.游标卡尺粗测出其厚度 H, 再由 H ( n- 1) / D, 知道应出现 最小可见度的次数 k, 则( k- 1) D/ ( n- 1) + h? ( h? 为一个小于 D/ ( n- 1) 的正数) 即为动镜 M 1 移动的距离 d. 3 ! 实验结果与分析 用阿贝折射仪测出待测的透明薄膜的折射率为 1. 4836. 在钠光照射下, 将迈克尔逊干涉仪调节到最小可见度状态, 薄膜插入中, 再次将迈克尔逊干涉仪调节到最小可见度状态, 测出动镜 M 1 移动的距离 d, 其结果如下表 所示. 表 1 迈克尔逊干涉仪最小可见度 单位: mm