荧光灯圆排车上应用问题..pdf

关于分子泵在荧光灯园排车上应用问题的讨论 钱永生 （上海市真空学会科技咨询部） （一）前 言 随着国产分子泵生产工艺的日臻成熟和生产单位的日益增多， 近耒， 有些分子泵生产单 位试图将 （一种通常是用于高真空乃至超高真空领域的） 分子泵用在荧光灯园排车的真空系 统中，希望提高荧光灯的真空质量。对这种做法， 我基本上持否定态度。 我是学“电真空器件专业”的 （可惜，如今大学里都不再开设这一专业了） 。什么是“电真 空器件”？具有真空腔体 （壳体）的电子或离子器件被统称为“电真空器件” （又称“真空电子器 件”）。它包括：电子管【如：过去收音机中用的收讯放大管和多用于军事电子（如雷达等电 子对抗）设备中的磁控管、束调管、行波管等微波器件】 、离子管、电子束管（包括：电视 显像管、雷达用的长余辉显示管） 、光电器件等几大类，甚至，作为“电光源”的各种“气体放 电灯”乃至白炽灯也被划入“电真空器件”的范畴之中。 这些年来涌现出来的某些平面显示器件 （如：PDP 、VFD 、FED 等等）也加入了这个行列。 它们正常工作都需要真空（或抽完真 空后再填充进某些特定气体） 环境。 自 45 年前我参加工作以耒， 一直从事本专业的工作 【无 论是 1964 ～ 78 年间，在“中国科学院电子学研究所”参与航天器和导弹用行波管及彩色摄像 管的研制； 还是调到“上海电子管二厂”后从事荧光灯和显像管两大类产品的技术服务和真空 技术应用研究；乃至 2000 年“退休”后被“上海永新彩色显像管有限公司”聘为“技术顾 问”；………至今 】。我这些年耒，根据不同器件的要求， 曾设计过的“排气台”和“真空检测设 备”的数量不下几十种，一生积累了一些经验。我认为，有责任帮助人们走出这个“误区” 。 那些搞分子泵在“荧光灯园排车”上推广应用的人，要么不懂得真空设备的设计原则；要 么不了解园排车生产荧光灯的工艺特点和园排车的具体结构；抑或是出于某种商业目的 。 1 他们中的一些人在征求我的意见时， 我曾当面明确表明过我的态度， 并为他们分析过具体原 因。 下面围绕关于分子泵在“荧光灯园排车”上应用问题和如何进一步提高用园排车排气的荧 光灯的真空质量问题，谈谈我的看法和理论根据。仅供你们参考。 影响一台真空设备 （如：园排车） 以及封离后电真空器件内真空度的要素有两个方面： ①抽气手段：如真空泵、吸气剂等； ②气体来源：如漏气、放气、蒸发、渗透、分解等。 因而， 电真空器件生产中遇到的某些情况可以用不同的真空方程来描述。 例如： 从排气 台上封离下耒的“ 行波管 ”（管内不装吸气剂） ，真空度随时间的变化情况可用 “静态真空方程” 来描述；从排气台上封离下耒的 显像管 （管内装有吸气剂） ，真空度随时间的变化情况可用 “准 静态真空方程” 来描述。 真空系统（如：园排车、长排车等）在时间为ｔ时的动态（不停地抽气）平衡压强Ｐ 可用下列“动态真空方程”耒描述： ｔ QT Ｐ ＝Ｐ u ＋Ｐ V ＋ …………………………………………………（