点衍射干涉波前检测系统高精度误差校正技术研究.pdfVIP

摘 要 在航空 端装备 造 高 尖领域广 泛应 科 精密光学系 统 航天、 高 制 等 精 用 ， 对我 国 技水平和 。 基 元 工 约 综合 国力发展有重要意义 光学元件作为光学系统 的 础单 ， 其加 质量 制 系 统性 是 面 。 极 的主 因 素 ， 因 光学 件 的检测要 越来越严 以 紫 光刻 为例 能 要 而对 元 形精度 求 格 外 机 ， 亚 面 高达 纳米 级 然 作为 前 业检 标准 要 投影光刻物镜 中单个光 学元件 形精度 量 ， 而 当 行 测 求 ＝ ｍ 仪 ２／ ０ （Ａ ６ ８ｎ ） 。 术 的 ＺＹＧＯ 的测量 度也 能迗到 ４  ３ ２． 因此 衍 干涉技 应运 干涉 精 只 ， 射 而 面 面 考 ， 生 ， 其凭借微孔截 衍射产生近乎理想 的球 参 波 打破 了 传统干涉方法 中标准参考镜 上 亚 面 。 加 精度对系 统检 度 的限制 ， 从而在理论 有 望实现 纳米量级 的 形测量 然 工 测精 精度 ， 技术 施 中 尚 相解 不高 低反镜光强对 比 以 非共路 涉成 而 该 在实 存在位 调精度 、 度不足 及 干 现。 上 差 问题， 影响 了 其理论精度的实 本文针对 述问题， 进行 了 针孔 衍 干涉波 像误 等 射 正 前检测 系 统高精度误差校 研究。 案 中产 生 高 衍 球面波的针 米 波 建立 了 衍射干涉检测系统方 ， 对其 质量 射