激光干涉仪实验报告.docxVIP

基于激光干涉仪的 CA6140 机床精度测量实验 一、实验目的与要求 1.了解雷尼绍 XL-80 激光干涉仪的工作原理； 2.掌握雷尼绍 XL-80 激光干涉仪的的使用方法； 3.掌握普通机床 Z 轴定位精度、重复定位精度的测量方法； 4.掌握普通机床定位误差数据的处理方法。 二、实验仪器与设备 1.雷尼绍 XL-80 激光干涉仪一台； 2.CA6140 机床一台。 三、实验原理 图 1 线性定位精度测量原理图 来自 XL-80 激光头的光束进入线性干涉镜，在此光束被分成两束。一束光 （称为参考光束）被引向装在分光镜上的反射镜，另一束光（测量光束）则穿过 分光镜到达第二个反射镜。 然后，两束光都被反射回分光镜， 在此它们重新组合 并被导回到激光头，激光头内的探测器监测两束光之间的干涉。 一般在线性测量过程中， 一个光学组件保持静止不动， 另一个光学组件沿线性轴移动。通过监测测量光束和参考光束之间的光路差异的变化， 产生定位精度测量值（注意，它是两个光学组件之间的差异测量值， 与 XL 激光头的位置无关） 。此测量值可以与理想位置比较，获得机床的精度误差。 四、实验步骤 图 2 定位精度测量示意图 1.光路搭建 （1）开动机床，在保证激光不被机床碰到的情况下，激光干涉仪应离机床越近越好（便于对光）。 （2）放好支架，大体判断镜子所需架设的高度， 然后调整支架至合格位置。 各个活动部件都要锁死。 （3）将激光干涉仪安装至支架，激光干涉仪下有锁扣，扣死。使用水平仪，通过调整支架使激光干涉仪达到水平状态。 （4）将激光干涉仪各个微调螺母调制中间位置（便于以后微调） 。 （5）连接激光干涉仪电源、数据线、数据收集器、传感器、电脑等，打开 激光干涉仪电源使激光干涉仪预热， 等激光指示灯出现绿色后， 表明激光已稳定 （正常需 5 分钟）。 （6）架镜子：遵循干涉镜不动，反射镜随机床动 a.将机床擦拭干净并将机床开到合适位置，被测量轴工作台需要开到极限位置（最靠近激光仪的一侧） 。 b.先架干涉镜，将干涉镜用安装杆、磁性表座固定在机床不可运动部件或其 它固定部件上。 可通过不同的组装方法使光线的反射方向不同 （那些不方便直线 架设激光干涉仪的， 可以采取 90 度架设）。激光干涉仪一般吸附在主轴上， 如不 方便可吸附在主轴箱上。 c.架设反射镜，将反射镜用安装杆、磁性表座固定在机床运动部件上。调整 高度使其和干涉镜高度相同。 2.对光过程：近处调镜组的位置，远处调激光头的俯仰和偏摆旋钮。 （1）激光干涉仪光头旋转至小光圈，将光线调整至射入干涉镜（通过调整 架子位置和高度），这时需要看的是激光仪上主光点应在对光圆圈的中点，副光 点应和主光点在同一竖直线上。如果达不到这个要求，继续通过调整架子角度、 激光干涉仪高度等，使其符合要求。 （2）将反射镜与干涉镜对齐， 注意，此时反射镜位于离激光头最近的位置， 移动 X 轴和反射镜的高度，观察对光圆圈上第二主光点的位置，当对光圆圈上 的两个主光点完全重合、 且都处于对光圆圈的中心时说明此位置处参考光束和测 量光束可以形成干涉。 （3）手摇机床使之开到要测量的最远端，这时若两光点分离即不在同一直 线上，需通过调整激光头偏摆和俯仰旋钮来调节， 使对光圆圈上的两个主光点完 全重合、且都处于对光圆圈的中心。 （4）重复步骤（ 2）、（ 3），直至在整个从最近端到最远端的行程中两光点一 直处于重合的状态，对光完成。 3.测量 启动测量软件，进行相关设置。沿 Z 轴方向移动机床，移动到要求位置， 点击“采集数据”。 五、注意事项 1.搬运仪器附件箱时，应轻拿轻放，防止损坏激光干涉仪或其它附件。 2.三角架在使用时，应将各紧固螺钉固紧，防止意外事故的发生。 3.激光干涉仪在使用时，应用两松紧带固紧。 4.安装光学镜组时，要小心谨慎，防止摔坏或碰坏镜组，特别禁止“悬空” 安装光学镜。 5.严禁用手触摸镜组镜面，保持镜面干净。 6.眼睛不能对准输出光束直视，否则会伤害眼睛。 7.注意各条电源线和传输线，以免拌到电源线或传输线。 8.测量完后，应将电源线、连接电缆、电源插板及电缆线等擦拭干净。 9.测量完毕后，应仔细清点仪器所有附件，防止丢失。 六、实验数据处理 测量完毕后，点击“分析数据”下的“ GB/T 17421.2-2000 分析曲线”、“ GB/T 17421.2-2000 三合曲线”、“打印或观查误差表”和“误差补偿图表” ，得到相应 的图表，截图保存。 七、思考题 1.根据实验结果，分析机床的定位精度、重复定位精度和反向差值分别为多 少？ 定位精度 A=1941.924 微米 重复定位精度 R=（505.212+951.770）/2=728.491 微米反向差值 B=1123.333 微米 2.什么