材料现代微观分析技术第3章 透射电子显微镜.pptVIP

透射电镜需要两部分电源 一 . 供给电子枪的高压电源 二 . 供给电磁透镜的低压稳流电源 电源的稳定性是电镜性能好坏的一个极为重 要 的标志。对供电系统的主要要求是产生高稳定的 加速电压和 高稳定 的激磁电流。 3.1.3 供电系统 冷却水系统 真空系统用水 镜筒用水 计算机控制系统 3.2 透射电镜样品制备 对样品制备技术要求很严格，样品制备的好 坏影响到能否得出正确的结论。如果制不出合格 的样品，所有的观察分析就是一句空话，如果样 品出现假象而没被发现，那么就可能使分析误入 歧途，影响到观察分析的可信度及结论的正确性。 因此透射电镜样品制备是做好金属电子显微分析 工作最基础的一关。 透射电镜对样品的要求 ? 小而薄，无假象，无变形 . ? 小：Φ3mm大小 , 样品室所要求 . ? 薄： 50A 0 -5000 A 0 , 电子束穿透能力要求 . 样品的种类 (1) ? 薄膜样品 : 把所要观察的样品制成薄膜， 直接观察显微组织 , 晶体缺陷 , 晶体结构等。 ? 粉末样品 : 把粉末颗粒涂布在非晶材料制成 的支持膜上 , 或和非晶材料混合在一起制成薄膜， 直接观察粉末，颗粒的形状大小及内部细节 , 确 定相结构等。 样品的种类 (2) ? 复型样品 : 用非晶物质将试样表面的形 貌复制下来做成样品。用这种间接的方法观 察显微组织，断口形貌，第二