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扫描电子显微镜 Scanning Electron Microscope 课程内容 绪论 扫描电镜成像的基本原理； 扫描电镜的仪器结构； 样品制备； 显微镜分类 光学显微镜 探针显微镜 电子显微镜 成像系统的分辨率 分辨率：用于表示人眼或光学仪器能够辨别两 点之间最小距离的标志 • 两点间的距离越小，表示分辨率越高，仪器所能分清 被观察物体的细节愈多 •分辨率是衡量电镜性能的重要指标 S 1 S O S’ L S ’ 1 点物S和S 在透镜的焦平面上呈现两个艾里斑，屏上总光强为两衍射光斑 1 的