离子注入对金属材料改.docVIP

离子注入材料表面改性的研究方法 【摘要】本文论述了离子注入材料表面改性的特点和发展应用，阐述了离子注入 材料表而改性的机理。大量研究表明，离子注入通过改变材料表面和界面的物理 化学特性及微观结构，能够显著提高材料的抗磨损，抗疲劳，抗腐蚀，抗氧化特 性。离子注入不仅可以提高材料表面性能，延长材料使用寿命，还可以节约贵金 属资源，具有很好的经济效益和应用前景。 【关键词】离子注入技术；材料表面改性；研究方法 前言 20世纪70年代，离子注入应用于材料表面改性并逐渐发展成--种新颖有效 的材料表面改性方法。它是把工作(金属，合金，陶瓷等)放在离子注入机的真空 靶室屮，通过加高电压，把所需元素的离子注入到工件表层的一种工艺。材料经 离子注入后，在其零点几微米的表层屮增加注入元素和辐照损伤，从而使材料的 物理化学性能发生显著变化。 大量实验证实，离子注入能使金属和合金的摩擦因索，耐磨性，抗氧化性， 抗腐蚀性，耐疲劳性以及某些材料的超导性能，催化性能，光学性能等发生显著 变化，能够大大提高材料的性能和使用寿命。离子注入在工业屮应用能取得很好 的效益，除延长工件的使用寿命外，还由于离子注入仅用较少量的合金元素，就 可以得到较高的表面合金浓度，因而可以节约贵重金属⑴。 离子注入特点 与通常的冶金方法不同，离子注入是用高能量的离子注入来获得表面合金层 的，因而有其特点： 离子注入是一个非热平衡过程，