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化学提纯法简介 多晶硅和石英玻璃生产的关键就在于提纯， 尤其是多晶硅， 如果没有达到所需要的高纯 度，就都是废品，生产的再多也没有用。因此，要想制备多晶硅和石英玻璃，掌握提纯方法 是非常重要的。 材料提纯的方法很多，但不外乎物理提纯和化学提纯两大类。常用的物理提纯有挑选、 清洗、磁选、浮选等以及利用“偏析”原理所实现的冶炼提纯。但是这些物理提纯对于生产 多晶硅来说， 还是无能为力， 它们无法使多晶硅达到所需要的纯度标准。 可以相像， 六个 “9 ” 以上的纯度，其杂质含量仅占硅的百万分之一，甚至更少。要想达到这样少的杂质含量，用 物理提纯方法是根本无法实现的。 物理提纯方法无法实现，化学提纯方法还是可以的。 对四氯化硅和三氯氢硅化学提纯的方法也不止一种， 目前比较常用的有单一精馏法、 络 合精馏法、固体吸附法、部分水解吸附法、萃取法、电解法、高温裂解除碳、铜屑去硫砷等 多种方法。 以上的几种方法都各有所长， 它们都可以单独使用。 为求完美， 也可以取长补短， 采用几种方法组合使用。 一般来说，一种方法只对一定的杂质有较好的提纯作用，而对另一些杂质则见效较差， 不同方法对操作条件的要求也各不相同， 条件控制得好， 提纯效果显著，反之，条件用得不 严格，反而走向反面，即引进沾污。 络合精馏法是一种最有成效的方法， 几乎能去除所有的杂质， 但是它分离络合物还得依 靠精馏法，而且它还存在着络合物的选择、处理、络合条件、减少沾污等具体问题，因此， 在生产中还是没能得到广泛采用。 固体吸附和部分水解吸附法是精馏法的好助手。 前者对分离强极性杂质磷和金属氯化物 特别有效，后者对除硼特别有效，常被用于四氯化硅和三氯氢硅的提纯。 单一精馏法 （简称精馏法）是一种非常重要的提纯方法， 它简单而有效，又可避免引进 任何试剂， 绝大多数杂质都可通过此法去除， 特别是难以除掉的非极性重金属氯化物也能用 此法去除。 采用这种方法有利于减少沾污，工序简化，操作方便， 而且适用于大规模工业生 产。因此， 对于四氯化硅和三氯化硅的提纯来说， 大多数都是采用单一的精馏法， 多晶硅和 石英玻璃的联合制备法液是采用单一的精馏法来提纯原料的。