第3章 电容式的传感器.pptVIP

3.1 电容式传感器的工作原理和结构 3.2 等效电路 3.3 电容式传感器的测量电路 3.4 电容式传感器的应用 ; 电容式传感器是把被测量的变化转换成电容量变化的一种传感器。 电容式传感器不但广泛用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量，而且还逐步地扩大到用于压力、差压、液位、物位或成份含量等方面的测量。 ;电容式传感器的主要特点为： (1)、小功率、高阻抗； (2)、小的静电引力和良好的动态特性； (3)、和电阻式传感器相比电容式传感器本身发热影响小； (4)、可进行非接触测量； (5)、结构简单，适应性强，可以在温度变化比较大或具有各种辐射的恶劣环境中工作。 ;电容式传感器的主要缺点： (1)、输出具有非线性； (2)、寄生电容的影响往往降低传感器 的灵敏度。; 3.1 电容式传感器的工作原理和结构 ; 当被测参数变化使得式中的A,d或ε发生变化时, 电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。 因此, 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。  ;几种不同的电容式传感器的原理结构图;一、 变极距型电容传感器  当传感器的εr和A为常数, 初始极距为d0时, 由式可知其初始电容量C0为 ; 若电容器极板间距离由初始值d0缩小Δd, 电容量增大ΔC, 则有 C1=C0+ΔC= =; C1≈ （ ） 变极距型电容式传感器才有近似的线性输出， 但输出量程很小。  ;电容的相对变化量当 时，将式用泰勒级数展开：;略去非线性项后，有近似关系为 令 则S=1/d 式中，S——变极距电容式传感器的灵敏度，它说明了单位输入位移能引起输出电容相对变化的大小。 ;由以上各式可得以下结论：（1）欲提高灵敏度S，应减小起始极距d；但受电容器击穿电压的限制，而且增加装配工作的困难；（2）非线性将随最大相对位移增加而增加，因此为了保证一定线性度，应限制动极板的相对位移量；（3）为了改善非线性，可采用差动结构。当一个电容增加时，另一个电容则减小。这时对于差动结构，两电容并联，总输出减少了偶次项，显然非线性减小，且灵敏度提高一倍。; 另外, 由式可以看出, 在d0较小时, 对于同样的Δd变化所引起的ΔC可以增大, 从而使传感器灵敏度提高。但d0过小, 容易引起电容器击穿或短路。为此, 极板间可采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质, 此时电容C变为 ; 云母片的相对介电常数是空气的7倍, 其击穿电压不小于1000 kV/mm, 而空气的仅为3kV/mm。 因此有了云母片, 极板间起始距离可大大减小。同时, 式中的(dg/ε0εg)项是恒定值, 它能使传感器的输出特性的线性度得到改善。  一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在 20～100pF之间, 极板间距离在25～200μm的范围内, 最大位移应小于间距的1/10, 故在微位移测量中应用最广。 ;例4.1 一变极距斜型平板电容电传感器，d0=1mm，若要求测量线性度为0.1%。求：允许极距测量最大变化量是多少？; 变面积型电容传感器原理图;; 图是电容式角位移传感器原理图。当动极板有一个角位移θ时, 与定极板间的有效覆盖面积就改变, 从而改变了两极板间的电容量。当θ=0 时, 则; C0=ε0εrA0/d0  式中: εr——介质相对介电常数;  d0——两极板间距离;  A0——两极板间初始覆盖面积。 当θ≠0时, 则  C1=ε0εrA/d0  从式可以看出, 传感器的电容量C与角位移θ呈线性关系。  ;