4第三章薄膜的生长解析.pptVIP

薄膜的形成 —— 3.2 核形成与生长 二、熔接过程 ：在极短的时间内，两个相邻的核心之间形成了直接接 触，并很快完成了相互吞并过程。表面自由能的降低趋势仍是整个 过程的驱动力。原子的表面扩散较体内扩散机制对熔结过程的贡献 大； 三、原子团迁移或者岛的迁移 ：在衬底上的原子团还具有相当的活动 能力，这些岛的迁移是形成连续薄膜的第三种机理。原子团迁移是 由热激活驱动的；激活能与原子团半径 r 有关， r 越小激活能越低，原 子团迁移越容易。 ? 要明显区分上述各种原子团的合并机制在薄膜形成过程中的相对重 要性比较困难。但在上述机制作用下，原子团之间相互发生合并过 程，并逐渐形成了连续的薄膜结构。 薄膜的形成 —— 3.2 核形成与生长 薄膜的形成 —— 3.2 核形成与生长 400 ℃ 下不同时间 MoS 2 衬底上 Au 核心相互吞并过程的透射电子显微镜照片 (a) t=0, (b) t=0.06s, (c) t=0.18s, (d) t=0.50s, (e) t=1.06s, (f) t=6.18s 薄膜的形成 —— 3.3 薄膜形成过程和生长模式 ? 薄膜形成与生长的三种模式 ? 岛状生长模式（ Volmer-Weber 模式） ? 层状生长模式（ Frank-Vander Merwe 模式） ? 层岛混合模式（ Stranski-Krastanov 模式） 大多数薄膜形成与生长过程都属于第一种模式，即在基 片表面上吸附的气相原子凝结之后，首先形成晶核，核不断 吸附气相原子形成小岛，岛吸附气相原子形成薄膜。 薄膜的形成是由成核开始的。 薄膜的形成 —— 3.3 薄膜形成过程和生长模式 A 岛状生长模式 ：这一生长模式表明，被 沉积物质的原子或分子倾向与自身相互键 合起来，它们与衬底之间浸润性不好，因 此避免与衬底原子键合，从而形成许多岛， 再由岛合并成薄膜，造成表面粗糙。 B 层状生长模式 ： 当被沉积物质与衬底之 间浸润性很好时，被沉积物质的原子便倾 向于与衬底原子成键结合。因此，薄膜从 形核阶段开始即采取二维扩展模式，薄膜 沿衬底表面铺开。在随后的沉积过程中， 一直维持这种层状生长模式。 C 层岛混合生长模式 ： 在最开始一两个原子层厚度时 采用层状生长，之后转化为岛状生长。即先采用层 状生长模式而后转化为岛状生长模式。 薄膜的形成 —— 3.3 薄膜形成过程和生长模式 ★ 薄膜形成过程和生长模式 薄膜形成过程 是 指形成稳定核之后的 过程。 薄膜生长模式 是 指薄膜形成的宏观形 式。 薄膜的形成 —— 3.3 薄膜形成过程和生长模式 薄膜形成过程描述 : 1. 2. 3. 4. 5. 单体吸附； 形成小原子团（胚芽）； 形成临界核（开始成核）； 临界核捕获原子，开始长大； 临界核长大的同时，在非捕获区，单体逐渐形成临 界核； 6. 稳定核长大，彼此连接形成小岛，新面积形成； 7. 新面积吸附单体，发生“二次”成核； 8. 小岛结合形成大岛，大岛长大并相互结合，又产生 新面积，并发生“二次”、“三次”成核； 9. 形成沟道和带有孔洞的薄膜； 10. 沟道填平，封孔，形成连续薄膜。 薄膜的形成 —— 3.3 薄膜形成过程和生长模式 薄膜形成可划分为四个阶段：成核、结合、沟道、连续 ? 岛状阶段 岛的演变特点 ? 可观察到的最小核尺寸： 2-3nm ； ? 核进一步长大变成小岛，横向生长速度大于纵向 生长速度； ? 形状：球帽形 —— 圆形 —— 多面体 薄膜的形成 —— 3.3 薄膜形成过程和生长模式 ? 联并阶段 随着岛不断长大，岛间距离逐渐减小，最后 相邻小岛可 互相联结合并为一个大岛 。这就是岛的联并。小岛联并 长大后 ，基体表面上占据面积减小 ， 表面能降低 ，基体 表面上空出的地方可再次成核。 薄膜的形成 —— 3.3 薄膜形成过程和生长模式 ? 联并阶段 ? ? 虽然小岛联并的初始阶段很快，但 联并后的 一个相当长时间内，新岛继续改变它的形状 。所以在联并时和联并后，新岛面积不断变 化 。 在最初阶段，由于联并使基体表面上的覆盖 面积减小，然后又逐渐增大。在联并初始阶 段，为了降低表面自由能，新岛的面积减小 而高度增大。 根据基体表面、小岛的表面与 界面自由能的情况，小岛将有一个最低能量 的形状，它是具有一定高度与半径比的沟形 。 薄膜的形成 —— 3.3 薄膜形成过程和生长模式 ? 沟道阶段