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球间距的精密测量 旋转量块法-2001 移动量块法-2002 扭丝旋转量块法-2006 ? r1 l O1 O2 r2 两球面间距: 球间距的精密测量 两球心间距: 旋转量块法-2001 Laser Chopper Optical plate Mirror Gauge Prism Position senor Lock in Amp. Lock in Amp. 1Hz I1 I2 -I2 I1 Clock PC I1 I2 A/D CPL 18(2001) 1012 旋转量块法-2001 h P1 P2 ? 位置探测器 平板玻璃 用平板玻璃出射光线的平移测转动角原理 量块转动系统 量块 转动把 量块回转台 量块旋转时输出信号的变化 Dimensionless output 旋转量块法实验数据 光斑在探测器上位置的变化 Displacement uncertainty 旋转量块法测量误差表 1 mrad 0.35 ?m 5 ?m 0.07 mrad 0.005 mm 4.3 mrad 2.3 mrad 0.49 0.05 0.35 0.003 0.19 0.22 0.05 0.06 0.16 距离S的误差( μ m) 转动角的统计误差 定标不确定度 入射光与 入射面的不垂直度 平板玻璃的平行度 量块长度的不确定度 球半径测量不确定度 平板玻璃厚度测量误差 总误差 量块的倾斜 误 差 源 直接测量的量为:P1G1+P2G2 球面间距: P1P2=L0+ P1G1+P2G2 球心间距: O1O2=L0+ P1G1+P2G2+r1+r2 移动量块法-2002年 移动量块法 接触检测 为接触之前跟随器输出180mV左右的电压 接触时球面上的电压降低,跟随器输出低于180mV的电压 量块位移 球间距测量数据 球直径测量 Standard sphere Standard sphere Sample 57.15 15.360 87.875+0.020=87.895 15.360 Revolving stage d12 d23 d34 Value (mm) 40.37897 15.37880 40.39544 Error (mm) 0.00011 0.00018 0.00012 20.0oC 时球间距测量实验结果 R1 = 57.14369 R2 = 57.14855 R3 = 57.14894 R4 = 57.14884 Error= 0.00017 引入测G误差: 2.4 ppm 引入测G误差: 2.6 ppm 扭丝旋转量块法-2006 Surface distance: S Centre distance: D=(S+r1+r2), Length of gauge block: L L is about 15μm thinner than S. L O1 O2 θ Gauge block L Result: S=(100.0161+0.0003)mm 7.81ppm to G 铝环 球形检验质量 支架 o p 天平托盘 铜柱 Y Z X 吸引质量的质心和几何中心的偏离 天平 样品 相关测量方案 m1 m2 h BIPM o p y z 天平 测量原理 圆球偏心距测量实物图 圆球度为5 mm 钢球的质心偏心度e=(1.71±0.12) mm 不锈钢球质心测量结果 圆球度为0.1 mm 不锈钢球的质心偏心度e=(0.23±0.08)mm 引入测G误差 3.4 ppm 不锈钢球质心测量结果 减小圆球的偏心距对测G影响的方法 O P O P OP位于竖直轴上时对测G 影响最小
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