NSR-2005G8C-基本操作作业资料.doc

XINRUI NSR-2005G8C 基本操作作业资料 XRC 密级 C级 V 201705 A/0 PAGE PAGE 8 版本 受影响的章节 修订内容 文件更改单号 更改人 日期 拟制： 主管工程师会签： 技术质量部会签 研发中心会签： 生产部会签： 设备动力部会签： 总工程师批准： 发文部门印章： 受控印章： 发文编号： 印章为红色时此文件才有效 目录 TOC \o 1-3 \h \z \u 1.开启NSR-2005G8C，STEPPER操作系统 2 2.进入NSR-2005G8C，STEPPER操作系统 6 1.熟悉NSR-2005G8C，STEPPER操作系统界面 6 2.修改操作用户名 8 3.选择掩模文件 10 4. 加载掩模板 11 5.硅片曝光 14 6.继续执行命令程序 17 7.卸载掩模板 18 3.光刻过程中常用消除报警解决方法 19 1.常见报警单元 19 2.报警状态下卸载硅片或掩模板 20 3.重置系统程序 21 4.初始化系统 24 4.正常关闭操作系统 25 1.第一步先关闭镜头控制器 25 2.进入关机系统 26 1.开启NSR-2005G8C，STEPPER操作系统 1.正常开机后，双击PDP程序。进入NSR-2005G8C，STEPPER操作系统 2.待程序出现上图界面是手动输入：@OPENUP 然后按Enter键进行下一个指令。 屏幕显示此画面视为修改时间日期，咱们不做修改，继续按Enter键进行下一个指令。然后系统将自动运行程序代码，此过程我们继续等待。 待界面出现如下图画面时，我们需要手动修改上面的操作参数。 将光标移动到所要修改的位置，按空格键切换操作参数。修改参数如下图。 参数修改完成后，按PF1：Start键。机器将进入自动调整自身机械状态。此过程无需任何操作。待界面出现如下图画面时按Enter键进入操作程序。 2.进入NSR-2005G8C，STEPPER操作系统 1.熟悉NSR-2005G8C，STEPPER操作系统界面 需要理解每一个程序命令的作用和使用方法。 2.修改操作用户名 按PF2设置命令，选择Operator然后按回车键。输入正确的用户名和密码。 3.选择掩模文件 TOC \o 1-3 \h \z \u 进入处理程序，选择所需的工艺程序。 4. 加载掩模板 进入准备程序，加载掩模板。首先要将和工艺文件对于的掩模板正确的放入板盒中，然后正确插入光刻机掩模板存放库中。 将光标选中该命令，按两下Enter进入该命令中。手动修改上板参数，如下图。 上板参数修改完成以后，按PF1键，跳出上板命令， 选中GO 开始上板。 5.硅片曝光 将涂胶后待曝光的硅片放入花篮中，打开光刻机小室门，将花篮放入光刻机的承片台（Right carrier）上。 硅片放好以后，进入执行程序，更改此步骤所需的曝光参数，曝光参数需严格按照光刻工艺指导书执行。具体操作参考下图。 选择执行程序后，按两次Enter 键进行确认。 曝光过程中需要注意光刻采样点的数值，如下图： 曝光完成后，取下花篮将硅片放入料盒中，等待显影。 6.继续执行命令程序 此程序所有曝光参数一致沿用第三项执行程序中所修改的曝光参数。 7.卸载掩模板 曝光结束后，需要将掩模板卸载下来。卸载掩模板需要进入准备程序中，修改下板命令。 3.光刻过程中常用消除报警解决方法 1.常见报警单元 记住常见报警单元，以便于机器报警时方便找到错误报警代码，及时处理报警状态。 2.报警状态下卸载硅片或掩模板 1.进入卸载硅片和掩模板程序。 2.当使用光刻机过程中，遇到光刻机报警时，首先要确认报警单元及错误代码。根据错误代码判断机器故障，然后将机器上面的硅片或者掩模板卸载下来。确认机器复位状态下不会损坏硅片和掩模板的情况下，对故障单元进行修复和重置复位。 3.重置系统程序 进入重置系统程序并掌握其使用方法. 进入第三项重置控制器 2.根据机器报警的错误代码，找出机器出故障的单元并根据错误代码提示的解决方案，对故障单元进行重置。重置故障单元后，故障仍未解决，及时联系维修工程师。 4.初始化系统 4.正常关闭操作系统 1.第一步先关闭镜头控制器 2.进入关机系统 选择YES 进入关闭PDP操作程序。 此过程无需操作。等待界面跳出关闭命令时，需要手动输入关闭命令。 手动输入关闭命令后，连续按两次Enter键。 选择Y，然后等待机器自动关闭。等待界面自动跳出选择命令时，选择继续关闭程序命令。 然后继续等待界面自动跳出选择命令时，手动输入 N 。 关闭PDP程序完成。